2024

Conference papers

Stéphane Calvez, David Bourrier, Justine Bonneau, Ludovic Salvagnac, Pascal Dubreuil, et al.. Shadow-mask evaporation for the fabrication of optical filters with spatially tailored thickness. Photonics West 2024 -- Advanced Fabrication Technologies for Micro/Nano Optics and Photonics XVII, Jan 2024, San Francisco (CA, USA), United States. pp.128980J-3, ⟨10.1117/12.3000178⟩. ⟨hal-04515494⟩

2023

Journal articles

Elizabeth Hemsley, Olivier Gauthier-Lafaye, Antoine Monmayrant, Pascal Dubreuil, Stéphane Calvez, et al.. Critical coupling in cavity-resonant integrated-grating filters (CRIGFs). Optics Express, 2023, 31 (17), pp.27274. ⟨10.1364/oe.498125⟩. ⟨hal-04174761⟩

Other documents

Hugues Granier, Alexandre Arnoult, David Bourrier, Laurent Bouscayrol, Pierre-François Calmon, et al.. Bilan des activités 2022 de la plateforme de micro et nanotechnologies du LAAS-CNRS. Rapport LAAS n° 23229. 2023. ⟨hal-04124098⟩

Jean-Christophe Marrot, Pascal Dubreuil, Éric Imbernon. Protocole d'utilisation de l’équipement ICPECVD Plasmalab 100 Oxford pour les dépôts de SiOx :H, SiNx :H.. Rapport LAAS n° 23472. 2023. ⟨hal-04290976⟩

2022

Journal articles

Jean-Baptiste Dory, Olivier Gauthier-Lafaye, Pascal Dubreuil, Inès Massiot, Stéphane Calvez, et al.. Design of hybrid MoS2/photonic devices compatible with technological constraints. Materials Research Express, 2022, 9 (4), pp.045006. ⟨10.1088/2053-1591/ac5273⟩. ⟨hal-03624387v2⟩

Sakeb Hasan Choudhury, Guillaume Vignaud, Pascal Dubreuil, Birhanu Desalegn Assresahegn, Daniel Guay, et al.. Conformal atomic layer deposition of RuOx on highly porous current collectors for micro-supercapacitor applications. Nanotechnology, 2022, 33 (49), pp.495404. ⟨10.1088/1361-6528/ac8f50⟩. ⟨hal-03810574⟩

Sergio Iván Flores Esparza, Aurélie Lecestre, Pascal Dubreuil, Alexandre Arnoult, Adnen Mlayah, et al.. GaAs membrane PhC lasers threshold reduction using AlGaAs barriers and improved processing. Nanotechnology, 2022, 34 (1), pp.015303. ⟨10.1088/1361-6528/ac9685⟩. ⟨hal-03812858⟩

Antoine Monmayrant, Stéphane Calvez, Pierre-François Calmon, Pascal Dubreuil, Samuel Charlot, et al.. Cavity resonator-integrated guided-mode resonance filters with on-chip electro- and thermo-optic tuning. Optics Express, 2022, 30 (10), pp.16669-16676. ⟨10.1364/OE.457149⟩. ⟨hal-03655038⟩

Conference papers

Pascal Dubreuil. Dépôt chimique en phase vapeur assistée par plasma de couches minces d'oxyde de silicium dans les technologies des semi-conducteurs et des MEMS. Journées RENATECH Dépôts, Centre de Nanosciences et de Nanotechnologies et Institut FOTON, Oct 2022, RENNES, France. ⟨hal-04047204⟩

Other documents

Pascal Dubreuil, Emmanuel Scheid. Investigating the nucleation of Al2O3 on clean Si in ALD : plasma post and pre-processing. School of Atomic Layer Deposition, Oct 2022, Autrans, France. , 2022. ⟨hal-03843720⟩

Pascal Dubreuil, Marrot Jean Christophe, Éric Imbernon, Ludovic Salvagnac, Guillaume Libaude, et al.. Equipements en 2022 de dépôts de matériaux dans la plateforme de micro et nano technologies du LAAS-CNRS. Journées RENATECH Dépôts, Oct 2022, RENNES, France. 2022. ⟨hal-03940369⟩

Alexandre Arnoult, David Bourrier, Laurent Bouscayrol, Pierre-François Calmon, Franck Carcenac, et al.. Bilan des activités 2021 de la plateforme de micro et nanotechnologies du LAAS-CNRS. Rapport LAAS n° 22125. 2022. ⟨hal-03646902⟩

Stéphane Calvez, Pascal Dubreuil, Mairame Diallo, Emmanuelle Daran, Antoine Monmayrant, et al.. Si_Z O_X N_Y BY INDUCTIVE-COUPLED-PLASMA PLASMA-ENHANCED CHEMICAL VAPOR DEPOSITION FOR MULTI-LAYER OPTICAL THIN FILMS. Journées Nationales des Technologies Emergente, Nov 2022, Besançon, France. 2022. ⟨hal-03948838⟩

Pascal Dubreuil, Emmanuel Scheid. Investigating the nucleation of Al2O3 on clean Si in ALD : plasma post and pre-processing. School of Atomic Layer Deposition, Oct 2022, AUTRANS, France. 2022. ⟨hal-03845065⟩

2021

Journal articles

Baptiste Julien, Pascal Dubreuil, Claudie Josse, Ludovic Salvagnac, Sylvain Pelloquin, et al.. Effect of Substrate–Induced Localized Stress on the Combustion Properties of Al/CuO Reactive Multilayer Films. Thin Solid Films, 2021, 740, pp.139000. ⟨10.1016/j.tsf.2021.139000⟩. ⟨hal-03431059⟩

Conference papers

Pascal Dubreuil, Emmanuel Scheid. In situ plasma pre-treatments of Silicon for ALD of Al2O3. Plathinium - Plasma thin film international union meeting, Sep 2021, Antibes, France. ⟨hal-03413850⟩

Other documents

Hugues Granier, Alexandre Arnoult, David Bourrier, Laurent Bouscayrol, Pierre-François Calmon, et al.. Bilan des activités 2020 de la plateforme de micro et nanotechnologies du LAAS-CNRS. Rapport LAAS n° 21194. 2021. ⟨hal-03263205⟩

Pascal Dubreuil, Jean-Christophe Marrot, Emmanuel Scheid, Éric Imbernon. Protocole d'utilisation du four de dépôt LPCVD Tempress pour le dépôt de silicium polycristallin dopé B. Rapport LAAS n° 21083. 2021. ⟨hal-03181950⟩

2020

Other documents

Hugues Granier, Franck Carcenac, Pierre-François Calmon, Véronique Conédéra, Monique Dilhan, et al.. Bilan des activités 2019 de la plateforme de micro et nanotechnologies du LAAS-CNRS. Rapport LAAS n° 21084. 2020. ⟨hal-03187781⟩

2019

Other documents

Hugues Granier, Pierre-François Calmon, Franck Carcenac, Véronique Conédéra, Monique Dilhan, et al.. Bilan 2018 des activités de la centrale de micro et nanotechnologies du LAAS-CNRS et du service TEAM. Rapport LAAS n° 19151. 2019. ⟨hal-02137930⟩

Pascal Dubreuil, David Quirion. Mise au point d'un procédé de gravure d'aluminium sur oxyde de silicium dans la plateforme de micro et nanotechnologies du LAAS-CNRS. Rapport LAAS n° 19087. 2019. ⟨hal-02066017⟩

2018

Conference papers

Léopold Macé, Olivier Gauthier-Lafaye, Antoine Monmayrant, Henri Camon, Pascal Dubreuil, et al.. Fabrication of Doubly-Corrugated Zero-Contrast-Grating for Broadband Pixelated Filtering in the Mid-IR Range. 20th International Conference on Transparent Optical Networks (ICTON 2018), Jul 2018, Bucharest, Romania. ⟨hal-01917558⟩

Other documents

Hugues Granier, Alexandre Arnoult, David Bourrier, Laurent Bouscayrol, Pierre-François Calmon, et al.. Un bilan des activités 2017 de la plateforme de micro et nanotechnologies du LAAS-CNRS. Rapport LAAS n° 18107. 2018. ⟨hal-01767583⟩

2017

Journal articles

Brice Adelin, Olivier Gauthier-Lafaye, Pascal Dubreuil, Aurélie Lecestre, Y. Rouillard, et al.. Electrically pumped all photonic crystal 2 nd order DFB lasers arrays emitting at 2.3 μ m. APL Photonics, 2017, 2 (3), pp.036105. ⟨10.1063/1.4978665⟩. ⟨hal-01626954⟩

Other documents

Hugues Granier, Véronique Conédéra, Monique Dilhan, Franck Carcenac, Pierre-François Calmon, et al.. Bilan des activités de la plateforme de micro et nano technologies du LAAS-CNRS. Rapport LAAS n° 17056. 2017. ⟨hal-01485548⟩

Reports

Ksenia Sharshavina, Philippe Arguel, Pierre-François Calmon, Franck Carcenac, Emmanuelle Daran, et al.. Réalisation d'un filtre étroit dans l'infrarouge thermique en technologie nanophotonique. Rapport final.. CNES, 18 avenue Edouard Belin 31401 Toulouse. 2017. ⟨hal-01945955⟩

2016

Journal articles

Fadhila Sekli-Belaidi, Emilie Vanhove, William Tiddi, Matthieu Polverel, Gabriel Lemercier, et al.. Integration of ring nanoelectrodes into microwells for the bioelectrochemical analysis in sub-picolitre volumes. Sensors and Actuators B: Chemical, 2016, 232, pp.345-356. ⟨10.1016/j.snb.2016.03.130⟩. ⟨hal-01503126⟩

Conference papers

Brice Adelin, Antoine Monmayrant, Aurélie Lecestre, Pascal Dubreuil, Y. Rouillard, et al.. All photonic crystal electrically pumped GaSb laser diodes emitting at 2.4 µm for gas sensing applications. 18th International Conference on Transparent Optical Networks (ICTON 2016), Jul 2016, Trento, Italy. ⟨10.1109/ICTON.2016.7550401⟩. ⟨hal-01795080⟩

Brice Adelin, Antoine Monmayrant, Pascal Dubreuil, Olivier Gauthier-Lafaye, Aurélie Lecestre, et al.. lasers tout cristal photonique à pompage électrique émettant en continu dans le moyen infra-rouge. Optique 2016 - JNOG, Jul 2016, Bordeaux, France. ⟨hal-01943644⟩

Aurore Vicet, Brice Adelin, Yves Rouillard, Michaël Bahriz, Antoine Monmayrant, et al.. Antimonide photonic crystals DFB lasers for sensing applications. Field Laser Applications in Industry and Research (FLAIR 2016), Sep 2016, Aix Les Bains, France. ⟨hal-01798045⟩

Aurélie Lecestre, Pascal Dubreuil, Nicolas Mallet, Franck Carcenac, Romain Cipro, et al.. Gravure de nanofils GaAs sur substrat Si(100) pour l'intégration de nano-transistors 3D. 15èmes Journées Nano, Micro et Optoélectronique (JNMO 2016), May 2016, Les Issambres, France. ⟨hal-01330934⟩

Aurélie Lecestre, Aziliz Lecomte, David Bourrier, Pascal Dubreuil, Emeline Descamps, et al.. Plasma etching of thick Parylene C for fabrication of biocompatible electrodes . 9th Workshop on Plasma Etch and Strip in Microtechnology (PESM2016), May 2016, Grenoble, France. ⟨hal-01326492⟩

Ludovic Marigo-Lombart, Laurent Mazenq, Ludovic Salvagnac, Guillaume Libaude, Bernard Rousset, et al.. VCSELs fabricated using self-aligned processing. 42nd Micro and Nano Engineering (MNE), Sep 2016, Vienna, Austria. ⟨hal-01857636⟩

Ludovic Marigo-Lombart, Alexandre Arnoult, Laurent Mazenq, Pascal Dubreuil, Benjamin Reig, et al.. VCSELs fabricated using self-aligned processing. Workshop VCSEL Day 2016, Jun 2016, Darmstadt, Germany. 2p. ⟨hal-01857634⟩

Antoine Monmayrant, Brice Adelin, Pascal Dubreuil, Aurélie Lecestre, Yves Rouillard, et al.. All Photonic Crystal electrically pumped CW mid-IR lasers. Conference on Lasers and Electro-Optics, Jun 2016, San Jose, United States. ⟨10.1364/CLEO_SI.2016.SF2L.4⟩. ⟨hal-01792997⟩

Other documents

Hugues Granier, Adrian Laborde, Alexandre Arnoult, Antoine Maiorano, Aurélie Lecestre, et al.. Bilan 2015 des activités de la plateforme de micro et nano technologies du LAAS-CNRS. Rapport LAAS n° 16053. 2016. ⟨hal-01867462⟩

Ludovic Marigo-Lombart, Alexandre Arnoult, Laurent Mazenq, Pascal Dubreuil, Jean-Baptiste Doucet, et al.. Développement de briques technologiques pour la fabrication d’un VCSEL avec un modulateur intégré verticalement. 15eme Journees Nano, Micro et Optoelectronique (JNMO), May 2016, Les Issambres, France. 2016. ⟨hal-01857638⟩

2015

Journal articles

Sylvain Noblecourt, Josiane Tasselli, Frédéric Morancho, Karine Isoird, Patrick Austin, et al.. Design and realisation of deep trench superjunction diode dor 600 V applications. European Journal of Electrical Engineering, 2015, ⟨10.3166/EJEE.17.345-361⟩. ⟨hal-01280199⟩

Conference papers

Fadhila Sekli-Belaidi, William Tiddi, Matthieu Polverel, Gabriel Lemercier, Aurélie Lecestre, et al.. Integration of ring nanoelectrodes into microwell for the bioelectrochemical analysis in sub-picoliter volumes. 18th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (TRANSDUCERS 2015), Jun 2015, Anchorage, AK, United States. 4p., ⟨10.1109/TRANSDUCERS.2015.7181224⟩. ⟨hal-01874765⟩

Other documents

Hugues Granier, Adrian Laborde, Alexandre Arnoult, Antoine Maiorano, Aurélie Lecestre, et al.. Bilan 2014 des zones de la plateforme de micro et nanotechnologies. Rapport LAAS n°15168. 2015, 105p. ⟨hal-01867464⟩

2014

Journal articles

Sylvain Noblecourt, Josiane Tasselli, Frédéric Morancho, Karine Isoird, Patrick Austin, et al.. Optimisation de la diode à Superjonction à tranchées profondes pour des applications à 600V. European Journal of Electrical Engineering, 2014, 17 (5-6), pp.345-361. ⟨10.3166/ejee.17.345-361⟩. ⟨hal-01955633⟩

Conference papers

Aurélie Lecestre, Pascal Dubreuil, Youssouf Guerfi, Franck Carcenac, Romain Cipro, et al.. Fabrication de réseaux de nanofils verticaux de GaAs sur substrat en Si(100) par une approche descendante. GDR Nanofils 2014, Oct 2014, Toulouse, France. pp.189 - 192. ⟨hal-01415368⟩

Brice Adelin, Quentin Gaimard, Alexandre Larrue, Aurélie Lecestre, Pascal Dubreuil, et al.. Dry Etching of High [Al] AlGaAsSb Compounds Using Cl 2 /N 2 /Ar ICP RIE. International Conference on Micro and Nano Engineering ( MNE ) 2014, Sep 2014, Lausanne, Switzerland. ⟨hal-01102417⟩

Aurélie Lecestre, Pascal Dubreuil, Sylvain Noblecourt, Josiane Tasselli, Éric Imbernon, et al.. Anisotropic Deep Reactive Ion Etching without Aspect Ratio Dependence Etching for silicon power devices. PESM 2014 (Plasma Etch and Strip in Microtechnology), May 2014, Grenoble, France. 2p. ⟨hal-01054251⟩

Brice Adelin, Alexandre Larrue, Aurélie Lecestre, Pascal Dubreuil, Yves Rouillard, et al.. High aspect ratio deep etching in GaInAsSb/AlGaAsSb system by ICP-RIE plasma. Plasma Etch and Strip in Microtechnology ( PESM ) 2014, May 2014, Grenoble, France. ⟨hal-01102388⟩

Pierre Joseph, Fabien Chauvet, Pascal Dubreuil, Antoine Naillon. Imbibition and evaporation in model nanofluidic systems. CECAM conference “Nanofluidics in physics and biology” EPFL, Oct 2014, Lausanne, Switzerland. ⟨hal-01810344⟩

Sylvain Noblecourt, Josiane Tasselli, Frédéric Morancho, Karine Isoird, Patrick Austin, et al.. Optimisation de la diode à Superjonction à tranchées profondes pour des applications à 600V. Symposium de Génie Electrique 2014, Jul 2014, Cachan, France. ⟨hal-01102974⟩

Other documents

Hugues Granier, Adrian Laborde, Alexandre Arnoult, Antoine Maiorano, Aurélie Lecestre, et al.. Plate forme de micro et nanotechnologies Bilan 2013 des zones. Rapport LAAS n° 14772. 2014, 108p. ⟨hal-01867468⟩

Hugues Granier, Alexandre Arnoult, David Bourrier, Laurent Bouscayrol, Pierre-François Calmon, et al.. Protocole d'arrêt général de la plateforme de micro et nanotechnologies du LAAS-CNRS. Rapport LAAS n° 14267. 2014. ⟨hal-01867458⟩