2023
Other documents
Hugues Granier, Alexandre Arnoult, David Bourrier, Laurent Bouscayrol, Pierre-François Calmon, et al.. Bilan des activités 2022 de la plateforme de micro et nanotechnologies du LAAS-CNRS. Rapport LAAS n° 23229. 2023. ⟨hal-04124098⟩
2022
Other documents
Alexandre Arnoult, David Bourrier, Laurent Bouscayrol, Pierre-François Calmon, Franck Carcenac, et al.. Bilan des activités 2021 de la plateforme de micro et nanotechnologies du LAAS-CNRS. Rapport LAAS n° 22125. 2022. ⟨hal-03646902⟩
2021
Other documents
Hugues Granier, Alexandre Arnoult, David Bourrier, Laurent Bouscayrol, Pierre-François Calmon, et al.. Bilan des activités 2020 de la plateforme de micro et nanotechnologies du LAAS-CNRS. Rapport LAAS n° 21194. 2021. ⟨hal-03263205⟩
2020
Other documents
Hugues Granier, Franck Carcenac, Pierre-François Calmon, Véronique Conédéra, Monique Dilhan, et al.. Bilan des activités 2019 de la plateforme de micro et nanotechnologies du LAAS-CNRS. Rapport LAAS n° 21084. 2020. ⟨hal-03187781⟩
Hugues Granier, Monique Dilhan. Détermination du coût complet 2019 et élaboration des tarifs pour les produits et prestations de la plateforme de micro et nanotechnologies du CNRS-LAAS. Rapport LAAS n° 21085. 2020. ⟨hal-03187772⟩
2019
Conference papers
Hugues Granier, Monique Dilhan. Auditable invoicing of audited rates: a methodology for funding of an academic platform operations. European Nanofabrication Research Infrastrcutures Symposium, Jun 2019, Erschende, Netherlands. ⟨hal-02159848⟩
Other documents
Hugues Granier, Pierre-François Calmon, Franck Carcenac, Véronique Conédéra, Monique Dilhan, et al.. Bilan 2018 des activités de la centrale de micro et nanotechnologies du LAAS-CNRS et du service TEAM. Rapport LAAS n° 19151. 2019. ⟨hal-02137930⟩
2018
Other documents
Hugues Granier, Alexandre Arnoult, David Bourrier, Laurent Bouscayrol, Pierre-François Calmon, et al.. Un bilan des activités 2017 de la plateforme de micro et nanotechnologies du LAAS-CNRS. Rapport LAAS n° 18107. 2018. ⟨hal-01767583⟩
2017
Conference papers
Samuel Charlot, Patrick Pons, Monique Dilhan, Isabelle Vallet, Sebastiano Brida. Hermetic cavities using gold wafer level thermocompression bonding. Eurosensors, Sep 2017, Paris, France. 2p. ⟨hal-01570711⟩
Other documents
Hugues Granier, Véronique Conédéra, Monique Dilhan, Franck Carcenac, Pierre-François Calmon, et al.. Bilan des activités de la plateforme de micro et nano technologies du LAAS-CNRS. Rapport LAAS n° 17056. 2017. ⟨hal-01485548⟩
2016
Conference papers
David Bourrier, Monique Dilhan, Hugues Granier, Arnaud Durlach. Les dépôts électrolytiques appliqués aux micro-dispositifs au LAAS. Journée Toulousaine d'Electrochimie (JTE 2016), Jul 2016, Toulouse, France. ⟨hal-01873836⟩
Other documents
Hugues Granier, Adrian Laborde, Alexandre Arnoult, Antoine Maiorano, Aurélie Lecestre, et al.. Bilan 2015 des activités de la plateforme de micro et nano technologies du LAAS-CNRS. Rapport LAAS n° 16053. 2016. ⟨hal-01867462⟩
2015
Other documents
Hugues Granier, Adrian Laborde, Alexandre Arnoult, Antoine Maiorano, Aurélie Lecestre, et al.. Bilan 2014 des zones de la plateforme de micro et nanotechnologies. Rapport LAAS n°15168. 2015, 105p. ⟨hal-01867464⟩
2014
Journal articles
David Bourrier, Ayad Ghannam, Monique Dilhan, Hugues Granier. Potential of BPN as a new negative photoresist for a very thick layer with high aspect ratio. Microsystem Technologies, 2014, 20 (10-11), pp.2089 - 2096. ⟨10.1007/s00542-014-2071-5⟩. ⟨hal-01873715⟩
Other documents
Hugues Granier, Adrian Laborde, Alexandre Arnoult, Antoine Maiorano, Aurélie Lecestre, et al.. Plate forme de micro et nanotechnologies Bilan 2013 des zones. Rapport LAAS n° 14772. 2014, 108p. ⟨hal-01867468⟩
Hugues Granier, Alexandre Arnoult, David Bourrier, Laurent Bouscayrol, Pierre-François Calmon, et al.. Protocole d'arrêt général de la plateforme de micro et nanotechnologies du LAAS-CNRS. Rapport LAAS n° 14267. 2014. ⟨hal-01867458⟩
Hugues Granier, Monique Dilhan, Christine Fourcade. Détermination du coût complet et élaboration des tarifs 2014 pour les produits et prestations de la plateforme de micro et nanotechnologies du CNRS-LAAS. Rapport LAAS N°14518. 2014. ⟨hal-01413101⟩