Capteurs et Actionneurs Silicium

Ces dispositifs MEMS sont capables de générer et de détecter des mouvements et des vibrations à des échelles incroyablement petites allant de quelques micromètres à moins du picomètre. Leurs utilisations vont de la manipulation frugale en énergie de données logiques à l’amélioration des performances de mesure des capteurs de force utilisés en microscopie à force atomique.

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