2025

Articles dans une revue

Natan Monvoisin, Weronika Glowadzka, Franck Carcenac, Stéphane Calvez, Olivier Gauthier-Lafaye, et al.. Near-infrared transparent conductive electrodes based on composite GaAs-metal deep sub-wavelength high contrast grating. Journal of Physics: Photonics, 2025, 7 (1), pp.015005. ⟨10.1088/2515-7647/ad95cf⟩. ⟨hal-04773974⟩

Communications dans un congrès

Franck Carcenac. 40 years of EBL developments - Memories of a dinosaur. Expert Workshop & Skill Days 2025, Société RAITH, Mar 2025, Best (Eindhoven), Netherlands. ⟨hal-04994606⟩

2024

Communications dans un congrès

Laurent Mazenq, Edmond Cambril, Adrian Laborde, Jean-René Coudevylle, Pierre-François Calmon, et al.. Comparaison de procédés de lithographie, une initiative du groupe Euronanolab Lithographies. JOURNÉES RENATECH LITHO/GRAVURE 2024, Jun 2024, Valbonne (06560), France. ⟨hal-04611256⟩

Sébastien Hanauer, Léopold Boudier, Sélyan Beldjoudi, Ihar Faniayeu, Alexandre Dmitriev, et al.. Design and fabrication of nanostructured photothermal interfaces for hybrid energy devices. Micro and Nano Engineering 2024 (MNE2024), IMNES; LAAS, Sep 2024, Montpellier, France. ⟨hal-04710985⟩

Franck Carcenac, Jean-Baptiste Doucet, Laurent Mazenq. "Scripting" PYTHON des dessins en EBL : une expérience de l'évolution de l'accueil des projets. JOURNÉES RENATECH LITHO/GRAVURE 2024 3, CHREA, Jun 2024, Valbonne (06560), France. ⟨hal-04630580⟩

Autres documents

Léopold Boudier, Tanneguy Blandin, Jean Baptiste Doucet, Emmanuelle Daran, Franck Carcenac, et al.. Distortion pre-compensation in soft nanoimprint process for mix-and-match process with traditional UV lithography. Micro Nano Engineering 2024 (MNE2024), Sep 2024, Montpellier, France. , 2024. ⟨hal-04711025⟩

Justine Harmel, Laure Noé, Sébastien Pinaud, Laurent Mazenq, Franck Carcenac, et al.. Résine pour la lithographie Electronique : Tests sur la HSQ Em Resist en poudre. Journées Renatech Lithographie/Gravure 2024, Jun 2024, CRHEA (Valbonne), France. 2024. ⟨hal-04610482⟩

Léopold Boudier, Tanneguy Blandin, Jean Baptiste Doucet, Franck Carcenac, Henri Camon, et al.. Nano-impression par moule souple pour les méta-surfaces actives. OPTIQUE Normandie 2024, Jul 2024, Rouen, France. 2024. ⟨hal-04709148⟩

Rapports

Hugues Granier, Alexandre Arnoult, David Bourrier, Laurent Bouscayrol, Pierre Francois Calmon, et al.. Bilan des activités 2023 de la plateforme de micro et nanotechnologies du LAAS-CNRS. 2024. ⟨hal-04583613⟩

Pré-publications, documents de travail

Franck Carcenac. Scanning Electron Microscopy. Master. Université de Technologie de Troyes, France. 2024, pp.67. ⟨hal-04630493⟩

Franck Carcenac. E-Beam Lithography 2024. Master. FAB01 - Nano-Phot, Université de Technologie de Troyes, France. 2024, pp.65. ⟨hal-04618948⟩

2023

Articles dans une revue

Sébastien Hanauer, Inès Massiot, Adnen Mlayah, Franck Carcenac, Jean-Baptiste Doucet, et al.. Photothermal Conversion of Solar Infrared Radiation by Plasmonic Nanoantennas for Photovoltaic-Thermoelectric Hybrid Devices. ACS Applied Energy Materials, 2023, 6 (4), pp.2128-2133. ⟨10.1021/acsaem.2c03724⟩. ⟨hal-04020888⟩

Communications dans un congrès

Sébastien Hanauer, Adnen Mlayah, Sélyan Beldjoudi, Ihar Faniayeu, Alexandre Dmitriev, et al.. Conception et intégration d'une interface photothermique nanostructurée au sein de dispositifs de cogénération photovoltaïque-thermoélectrique. Journées Nationales sur la Récupération et le Stockage de l'Energie (JNRSE 2023), Jun 2023, Paris, France. ⟨hal-04127933⟩

Autres documents

Laurent Mazenq, Franck Carcenac, Pierre-François Calmon, Emmanuelle Daran, Adrian Laborde, et al.. Moyens de lithographies de la plateforme de Micro et Nanotechnologies du LAAS-CNRS. Renatech Litho Gravure, Jan 2023, Lille, France. 2023. ⟨hal-03976338⟩

Natan Monvoisin, Weronika Glowadzka, Franck Carcenac, Aurélie Lecestre, Benjamin Reig, et al.. Transparent electrodes based on GaAs/metal subwavelength gratings for VCSEL applications. VCSEL Day 2023, Sep 2023, Turin (IT), Italy. 2023. ⟨hal-04768581⟩

Rapports

Hugues Granier, Alexandre Arnoult, David Bourrier, Laurent Bouscayrol, Pierre-François Calmon, et al.. Bilan des activités 2022 de la plateforme de micro et nanotechnologies du LAAS-CNRS. 2023. ⟨hal-04124098⟩

2022

Articles dans une revue

Melissa Najem, Franck Carcenac, Thierry Taliercio, Fernando Gonzalez-Posada. Aluminum Bowties for Plasmonic‐Enhanced Infrared Sensing. Advanced Optical Materials, 2022, 10 (20), pp.2201025. ⟨10.1002/adom.202201025⟩. ⟨hal-03914867⟩

Victor Fabre, Franck Carcenac, Adrian Laborde, Jean Baptiste Doucet, Christophe Vieu, et al.. Hierarchical Superhydrophobic Device to Concentrate and Precisely Localize Water-Soluble Analytes: A Route to Environmental Analysis. Langmuir, 2022, 38 (46), pp.14249-14260. ⟨10.1021/acs.langmuir.2c01690⟩. ⟨hal-03880333⟩

Communications dans un congrès

Sébastien Hanauer, Inès Massiot, Adnen Mlayah, Emmanuelle Daran, Sélyan Beldjoudi, et al.. Interface photothermique à base de nanoantennes thermoplasmoniques pour la récupération d'énergie infrarouge solaire au sein de dispositifs hybrides photovoltaïques-thermoélectriques. Journées Plénières du Groupe de Recherche NAME (NAnoMaterials for Energy applications), Oct 2022, Lyon, France. ⟨hal-04128261⟩

Sébastien Hanauer, Adnen Mlayah, Franck Carcenac, Jean Baptiste Doucet, Emmanuelle Daran, et al.. Interface photothermique à base de nano-antennes thermoplasmoniques pour la cogénération photovoltaïque-thermoélectrique. OPTIQUE Nice 2022, Jul 2022, Nice, France. ⟨hal-03756678v2⟩

Clement Deleau, Thidsanu Apiphatnaphakul, Han Cheng Seat, Frederic Surre, Usman Zabit, et al.. Towards Integrated Optical Feedback FM-to-AM Conversion in Silicon Nitride for Displacement Sensing Applications. 2022 IEEE Sensors, Oct 2022, Dallas, United States. pp.1-4, ⟨10.1109/SENSORS52175.2022.9967153⟩. ⟨hal-03925555⟩

Clement Deleau, Han Cheng Seat, Frederic Surre, Franck Carcenac, Pierre-François Calmon, et al.. Gas Sensor Based on Silicon Nitride Integrated Long Period Grating. IEEE Sensors 2022, Oct 2022, Dallas, United States. ⟨10.1109/sensors52175.2022.9967080⟩. ⟨hal-03901407⟩

Adrian Agreda, Tong Wu, Adrian Hereu, Franck Carcenac, Romain Pacanowski, et al.. Disordered metasurfaces to shape visual appearance. Colloque NanoApp 2022 : Apparence visuelle de milieux nanostructurés, CNRS; Faculté des Sciences de l'Université Claude Bernard Lyon 1, Nov 2022, Lyon, France. ⟨hal-04567981⟩

Autres documents

Sébastien Hanauer, Inès Massiot, Adnen Mlayah, S Beldjoudi, Franck Carcenac, et al.. Harvesting of infrared solar energy by thermoplasmonic nanoantenna for enhanced photovoltaic-thermoelectric systems. META 2022 - Metamaterials, Photonics Crystals and Plasmonics, Jul 2022, Torremolinos, Spain. 2022. ⟨hal-03756637⟩

Clothilde Péra, Jean Baptiste Doucet, Franck Carcenac, Dr Emmanuelle. Towards greener nanoimprint processes. 48th international conference on Micro and Nano Engineering - Eurosensors (MNE-ES), Sep 2022, Leuven, Belgium. 2022, ⟨10.1016/S0079-⟩. ⟨hal-03997402⟩

Léopold Boudier, Emmanuelle Daran, Olivier Gauthier-Lafaye, Valentin Gâté, Franck Carcenac, et al.. Methodology for the study of thermal nanoimprint lithography-induced deformation. 48th International conference on micro and nanoengineering, Sep 2022, Louvain (Leuven), Belgium. 2022. ⟨hal-04137592⟩

Rapports

Alexandre Arnoult, David Bourrier, Laurent Bouscayrol, Pierre-François Calmon, Franck Carcenac, et al.. Bilan des activités 2021 de la plateforme de micro et nanotechnologies du LAAS-CNRS. 2022. ⟨hal-03646902⟩

2021

Articles dans une revue

Adelin Patoux, Gonzague Agez, Christian Girard, Vincent Paillard, Peter Wiecha, et al.. Challenges in nanofabrication for efficient optical metasurfaces. Scientific Reports, 2021, 11 (1), pp.5620. ⟨10.1038/s41598-021-84666-z⟩. ⟨hal-03367438⟩

Communications dans un congrès

Adelin Patoux, Gonzague Agez, Christian Girard, Vincent Paillard, Peter Wiecha, et al.. Influence of nanofabrication errors on optical metasurfaces performances: study and minimization strategies. Flat Optics: Components to Systems 2021, Jun 2021, Washington, DC, United States. ⟨hal-03371657⟩

Autres documents

Sébastien Hanauer, Adnen Mlayah, Franck Carcenac, Jean-Baptiste Doucet, Emmanuelle Daran, et al.. Harvesting of IR solar energy by thermoplasmonic nanoantennas. Photothermal effects in Plasmonics, Oct 2021, Porquerolles, France. ⟨hal-03627756⟩

Rapports

Hugues Granier, Alexandre Arnoult, David Bourrier, Laurent Bouscayrol, Pierre-François Calmon, et al.. Bilan des activités 2020 de la plateforme de micro et nanotechnologies du LAAS-CNRS. 2021. ⟨hal-03263205⟩

2020

Rapports

Hugues Granier, Franck Carcenac, Pierre-François Calmon, Véronique Conédéra, Monique Dilhan, et al.. Bilan des activités 2019 de la plateforme de micro et nanotechnologies du LAAS-CNRS. 2020. ⟨hal-03187781⟩

2019

Rapports

Hugues Granier, Pierre-François Calmon, Franck Carcenac, Véronique Conédéra, Monique Dilhan, et al.. Bilan 2018 des activités de la centrale de micro et nanotechnologies du LAAS-CNRS et du service TEAM. 2019. ⟨hal-02137930⟩

2018

Rapports

Hugues Granier, Alexandre Arnoult, David Bourrier, Laurent Bouscayrol, Pierre-François Calmon, et al.. Un bilan des activités 2017 de la plateforme de micro et nanotechnologies du LAAS-CNRS. 2018. ⟨hal-01767583⟩

2017

Articles dans une revue

Raphaël Marchand, Christophe Thibault, Franck Carcenac, Christophe Vieu, Emmanuelle Trévisiol. Integration of solid-state nanopores into a functional device designed for electrical and optical cross-monitoring. Biomedical Microdevices, 2017, 19 (3), pp.artID 60. ⟨10.1007/s10544-017-0195-y⟩. ⟨hal-01767678⟩

Communications dans un congrès

Alexandre Lauvergne, Franck Carcenac, Emmanuelle Daran, Jean-Baptiste Doucet, Christophe Vieu. Fabrication of versatile calibration samples for 3D super-resolution optical imaging with

Rapports

Hugues Granier, Véronique Conédéra, Monique Dilhan, Franck Carcenac, Pierre-François Calmon, et al.. Bilan des activités de la plateforme de micro et nano technologies du LAAS-CNRS. 2017. ⟨hal-01485548⟩

Ksenia Sharshavina, Philippe Arguel, Pierre-François Calmon, Franck Carcenac, Emmanuelle Daran, et al.. Réalisation d'un filtre étroit dans l'infrarouge thermique en technologie nanophotonique. Rapport final.. CNES, 18 avenue Edouard Belin 31401 Toulouse. 2017. ⟨hal-01945955⟩

2016

Communications dans un congrès

Aurélie Lecestre, Pascal Dubreuil, Nicolas Mallet, Franck Carcenac, Romain Cipro, et al.. Gravure de nanofils GaAs sur substrat Si(100) pour l'intégration de nano-transistors 3D. 15èmes Journées Nano, Micro et Optoélectronique (JNMO 2016), May 2016, Les Issambres, France. ⟨hal-01330934⟩

Rapports

Hugues Granier, Adrian Laborde, Alexandre Arnoult, Antoine Maiorano, Aurélie Lecestre, et al.. Bilan 2015 des activités de la plateforme de micro et nano technologies du LAAS-CNRS. 2016. ⟨hal-01867462⟩

2015

Articles dans une revue

Carlos M. Quintero, Olena Kraieva, Franck Carcenac, Denis Lagrange, Nina Yaremchuk, et al.. Joule heated metallic microwire devices for sub-microsecond T-jump experiments. Microelectronics Journal, 2015, 46 (12), pp.1167 - 1174. ⟨10.1016/j.mejo.2015.06.024⟩. ⟨hal-01764284⟩

Raphaël Marchand, Franck Carcenac, Laurent Malaquin, Emmanuelle Trévisiol, Christophe Vieu, et al.. Controlled sealing of nanopores using an easily fabricated silicon platform combining in situ optical and electrical monitoring. Microelectronic Engineering, 2015, 144, pp.57 - 60. ⟨10.1016/j.mee.2015.03.032⟩. ⟨hal-01767667⟩

Rapports

Hugues Granier, Adrian Laborde, Alexandre Arnoult, Antoine Maiorano, Aurélie Lecestre, et al.. Bilan 2014 des zones de la plateforme de micro et nanotechnologies. 2015, 105p. ⟨hal-01867464⟩