2025

Conference papers

Pascal Dubreuil. Meeting of EuronanoLab at ENRIS (Bolognia) : Experts group Thin Film session. ENRIS 2025, EuronanoLab, May 2025, Bologne (ITA), Italy. ⟨hal-05076244⟩

Laurent Mazenq, Pierre-François Calmon, Adrian Laborde, Franck Carcenac, Aurélie Lecestre, et al.. Conventional micro and nanofabrication techniques and processes. Bordeaux Summer School - Innovative technologies and clinical applications in cancer research, Université de Bordeaux, Jun 2025, Bordeaux, France. ⟨hal-05146880⟩

Reports

Hugues Granier, Alexandre Arnoult, Mathieu Arribat, Amel Beghersa, David Bourrier, et al.. Comteam 2025 : 10 avril 2025. LAAS-CNRS. 2025. ⟨hal-05085277⟩

Hugues Granier, Alexandre Arnoult, Amel Beghersa, David Bourrier, Laurent Bouscayrol, et al.. Bilan des activités 2024 de la plateforme de micro et nanotechnologies du LAAS-CNRS. LAAS-CNRS. 2025. ⟨hal-05085249⟩

2024

Journal articles

Romain Calviac, Antoine Monmayrant, Pascal Dubreuil, Laurent Mazenq, Samuel Charlot, et al.. Grating design methodology for laser cooling. Journal of the Optical Society of America B, 2024, 41 (7), pp.1533-1540. ⟨10.1364/JOSAB.519552⟩. ⟨hal-04613751⟩

Conference papers

Romain Calviac, Antoine Monmayrant, Pascal Dubreuil, Laurent Mazenq, Samuel Charlot, et al.. Les mauvais réseaux font de bons atomes froids. Optique Normandie 2024 (Nanophotonique), SFO, Jul 2024, Rouen, France. ⟨hal-04682189⟩

Stéphane Calvez, David Bourrier, Justine Bonneau, Ludovic Salvagnac, Pascal Dubreuil, et al.. Shadow-mask evaporation for the fabrication of optical filters with spatially tailored thickness. Photonics West 2024 -- Advanced Fabrication Technologies for Micro/Nano Optics and Photonics XVII, Jan 2024, San Francisco (CA, USA), United States. pp.128980J-3, ⟨10.1117/12.3000178⟩. ⟨hal-04515494⟩

Alexandre Arnoult, Pascal Dubreuil, Pierre Gadras, Stéphane Calvez, Guilhem Almuneau. IN SITU AND REAL TIME CHARACTERIZATION INSTRUMENTS FOR MOLECULAR BEAM EPITAXY AND CHEMICAL VAPOR DEPOSITION. JNMO 2024 : Journées Nano, Micro et Optoélectronique, Oct 2024, Sète, France. ⟨hal-04937176⟩

Manon Drob, Pascal Dubreuil, Stéphane Calvez. Atomic-layer-deposited Al2O3 as a barrier to thermal and plasma oxidations. International Micro and Nano Engineering Conference MNE 2024, Sep 2024, Montpellier (34000), France. ⟨hal-04764300⟩

Antoine Rouxel, Antoine Monmayrant, Pascal Dubreuil, Stéphane Calvez, Olivier Gauthier-Lafaye. CRIGFs : Spectral filters, but also modal filters and combiners. 24th International Conference on Transparent Optical Networks (ICTON 2024), Jul 2024, Bari, Italy. pp.1-2, ⟨10.1109/ICTON62926.2024.10647488⟩. ⟨hal-04682032⟩

Stéphane Calvez, J. Bonneau, David Bourrier, Ludovic Salvagnac, Pascal Dubreuil, et al.. Dépôts 2.5D par évaporation à travers des masques demi-teinte. Journées Nationales des Technologies Emergentes, Nov 2024, Saint Etienne, France. ⟨hal-04815070⟩

Stéphane Calvez, Ulysse Legallois, Pascal Dubreuil, Olivier Gauthier-Lafaye. Suivi in-situ de dépôts CVD de SiON. Journée thématique Développement d'outils sur mesure de synthèse et de caractérisation des matériaux (Journée MATAPP 2024), Fédération Fermat, May 2024, Toulouse, France. ⟨hal-04693843⟩

Other documents

Manon Drob, Ayman Hoblos, Jesukpego Anorld Capo Chichi, Pascal Dubreuil, Ludovic Salvagnac, et al.. Al2O3 par ALD : un encapsulant structurable pour les composants photoniques à matériau à transition de spin. Workshop du GDR RAFALD, Nov 2024, Nantes (France), France. poster #4, 2024. ⟨hal-04794507⟩

Y. Sobhi, E. Donadio, Benjamin Duployer, Jean-Christophe Marrot, David Bourrier, et al.. Etude de couches minces de titanate de barium déposées par pulvérisation. Journées Nationales des Technologies Emergentes, Nov 2024, Saint Etienne (FR), France. 2024. ⟨hal-04802588⟩

Reports

Pascal Dubreuil, Manon Drob. Notice d'utilisation de l'ALD BENEQ TFS 200 du LAAS-CNRS. 2024. ⟨hal-04652268⟩

Pascal Dubreuil. Notice d'utilisation de l'ALD BENEQ TFS 200 du LAAS-CNRS Octobre 2024. 2024. ⟨hal-04746008⟩

Hugues Granier, Alexandre Arnoult, David Bourrier, Laurent Bouscayrol, Pierre Francois Calmon, et al.. Bilan des activités 2023 de la plateforme de micro et nanotechnologies du LAAS-CNRS. 2024. ⟨hal-04583613⟩

2023

Journal articles

Elizabeth Hemsley, Olivier Gauthier-Lafaye, Antoine Monmayrant, Pascal Dubreuil, Stéphane Calvez, et al.. Critical coupling in cavity-resonant integrated-grating filters (CRIGFs). Optics Express, 2023, 31 (17), pp.27274. ⟨10.1364/oe.498125⟩. ⟨hal-04174761⟩

Reports

Hugues Granier, Alexandre Arnoult, David Bourrier, Laurent Bouscayrol, Pierre-François Calmon, et al.. Bilan des activités 2022 de la plateforme de micro et nanotechnologies du LAAS-CNRS. 2023. ⟨hal-04124098⟩

Jean-Christophe Marrot, Pascal Dubreuil, Éric Imbernon. Protocole d'utilisation de l’équipement ICPECVD Plasmalab 100 Oxford pour les dépôts de SiOx :H, SiNx :H.. 2023. ⟨hal-04290976⟩

2022

Journal articles

Sakeb Hasan Choudhury, Guillaume Vignaud, Pascal Dubreuil, Birhanu Desalegn Assresahegn, Daniel Guay, et al.. Conformal atomic layer deposition of RuOx on highly porous current collectors for micro-supercapacitor applications. Nanotechnology, 2022, 33 (49), pp.495404. ⟨10.1088/1361-6528/ac8f50⟩. ⟨hal-03810574⟩

Jean-Baptiste Dory, Olivier Gauthier-Lafaye, Pascal Dubreuil, Inès Massiot, Stéphane Calvez, et al.. Design of hybrid MoS2/photonic devices compatible with technological constraints. Materials Research Express, 2022, 9 (4), pp.045006. ⟨10.1088/2053-1591/ac5273⟩. ⟨hal-03624387v2⟩

Sergio Iván Flores Esparza, Aurélie Lecestre, Pascal Dubreuil, Alexandre Arnoult, Adnen Mlayah, et al.. GaAs membrane PhC lasers threshold reduction using AlGaAs barriers and improved processing. Nanotechnology, 2022, 34 (1), pp.015303. ⟨10.1088/1361-6528/ac9685⟩. ⟨hal-03812858⟩

Antoine Monmayrant, Stéphane Calvez, Pierre-François Calmon, Pascal Dubreuil, Samuel Charlot, et al.. Cavity resonator-integrated guided-mode resonance filters with on-chip electro- and thermo-optic tuning. Optics Express, 2022, 30 (10), pp.16669-16676. ⟨10.1364/OE.457149⟩. ⟨hal-03655038⟩

Conference papers

Pascal Dubreuil. Dépôt chimique en phase vapeur assistée par plasma de couches minces d'oxyde de silicium dans les technologies des semi-conducteurs et des MEMS. Journées RENATECH Dépôts, Centre de Nanosciences et de Nanotechnologies et Institut FOTON, Oct 2022, RENNES, France. ⟨hal-04047204⟩

Other documents

Pascal Dubreuil, Emmanuel Scheid. Investigating the nucleation of Al2O3 on clean Si in ALD : plasma post and pre-processing. School of Atomic Layer Deposition, Oct 2022, AUTRANS, France. 2022. ⟨hal-03845065⟩

Pascal Dubreuil, Marrot Jean Christophe, Éric Imbernon, Ludovic Salvagnac, Guillaume Libaude, et al.. Equipements en 2022 de dépôts de matériaux dans la plateforme de micro et nano technologies du LAAS-CNRS. Journées RENATECH Dépôts, Oct 2022, RENNES, France. 2022. ⟨hal-03940369⟩

Pascal Dubreuil, Emmanuel Scheid. Investigating the nucleation of Al2O3 on clean Si in ALD : plasma post and pre-processing. School of Atomic Layer Deposition, Oct 2022, Autrans, France. , 2022. ⟨hal-03843720⟩

Stéphane Calvez, Pascal Dubreuil, Mairame Diallo, Emmanuelle Daran, Antoine Monmayrant, et al.. Si_Z O_X N_Y BY INDUCTIVE-COUPLED-PLASMA PLASMA-ENHANCED CHEMICAL VAPOR DEPOSITION FOR MULTI-LAYER OPTICAL THIN FILMS. Journées Nationales des Technologies Emergente, Nov 2022, Besançon, France. 2022. ⟨hal-03948838⟩

Reports

Alexandre Arnoult, David Bourrier, Laurent Bouscayrol, Pierre-François Calmon, Franck Carcenac, et al.. Bilan des activités 2021 de la plateforme de micro et nanotechnologies du LAAS-CNRS. 2022. ⟨hal-03646902⟩

2021

Journal articles

Baptiste Julien, Pascal Dubreuil, Claudie Josse, Ludovic Salvagnac, Sylvain Pelloquin, et al.. Effect of Substrate–Induced Localized Stress on the Combustion Properties of Al/CuO Reactive Multilayer Films. Thin Solid Films, 2021, 740, pp.139000. ⟨10.1016/j.tsf.2021.139000⟩. ⟨hal-03431059⟩

Conference papers

Pascal Dubreuil, Emmanuel Scheid. In situ plasma pre-treatments of Silicon for ALD of Al2O3. Plathinium - Plasma thin film international union meeting, Sep 2021, Antibes, France. ⟨hal-03413850⟩

Reports

Hugues Granier, Alexandre Arnoult, David Bourrier, Laurent Bouscayrol, Pierre-François Calmon, et al.. Bilan des activités 2020 de la plateforme de micro et nanotechnologies du LAAS-CNRS. 2021. ⟨hal-03263205⟩

Pascal Dubreuil, Jean-Christophe Marrot, Emmanuel Scheid, Éric Imbernon. Protocole d'utilisation du four de dépôt LPCVD Tempress pour le dépôt de silicium polycristallin dopé B. 2021. ⟨hal-03181950⟩

2020

Reports

Hugues Granier, Franck Carcenac, Pierre-François Calmon, Véronique Conédéra, Monique Dilhan, et al.. Bilan des activités 2019 de la plateforme de micro et nanotechnologies du LAAS-CNRS. 2020. ⟨hal-03187781⟩

2019

Reports

Pascal Dubreuil, David Quirion. Mise au point d'un procédé de gravure d'aluminium sur oxyde de silicium dans la plateforme de micro et nanotechnologies du LAAS-CNRS. 2019. ⟨hal-02066017⟩

Hugues Granier, Pierre-François Calmon, Franck Carcenac, Véronique Conédéra, Monique Dilhan, et al.. Bilan 2018 des activités de la centrale de micro et nanotechnologies du LAAS-CNRS et du service TEAM. 2019. ⟨hal-02137930⟩

2018

Conference papers

Léopold Macé, Olivier Gauthier-Lafaye, Antoine Monmayrant, Henri Camon, Pascal Dubreuil, et al.. Fabrication of Doubly-Corrugated Zero-Contrast-Grating for Broadband Pixelated Filtering in the Mid-IR Range. 20th International Conference on Transparent Optical Networks (ICTON 2018), Jul 2018, Bucharest, Romania. ⟨hal-01917558⟩

Reports

Hugues Granier, Alexandre Arnoult, David Bourrier, Laurent Bouscayrol, Pierre-François Calmon, et al.. Un bilan des activités 2017 de la plateforme de micro et nanotechnologies du LAAS-CNRS. 2018. ⟨hal-01767583⟩

2017

Journal articles

Brice Adelin, Olivier Gauthier-Lafaye, Pascal Dubreuil, Aurélie Lecestre, Y. Rouillard, et al.. Electrically pumped all photonic crystal 2 nd order DFB lasers arrays emitting at 2.3 μ m. APL Photonics, 2017, 2 (3), pp.036105. ⟨10.1063/1.4978665⟩. ⟨hal-01626954⟩

Reports

Ksenia Sharshavina, Philippe Arguel, Pierre-François Calmon, Franck Carcenac, Emmanuelle Daran, et al.. Réalisation d'un filtre étroit dans l'infrarouge thermique en technologie nanophotonique. Rapport final.. CNES, 18 avenue Edouard Belin 31401 Toulouse. 2017. ⟨hal-01945955⟩

Hugues Granier, Véronique Conédéra, Monique Dilhan, Franck Carcenac, Pierre-François Calmon, et al.. Bilan des activités de la plateforme de micro et nano technologies du LAAS-CNRS. 2017. ⟨hal-01485548⟩

2016

Journal articles

Fadhila Sekli-Belaidi, Emilie Vanhove, William Tiddi, Matthieu Polverel, Gabriel Lemercier, et al.. Integration of ring nanoelectrodes into microwells for the bioelectrochemical analysis in sub-picolitre volumes. Sensors and Actuators B: Chemical, 2016, 232, pp.345-356. ⟨10.1016/j.snb.2016.03.130⟩. ⟨hal-01503126⟩

Conference papers

Brice Adelin, Antoine Monmayrant, Pascal Dubreuil, Olivier Gauthier-Lafaye, Aurélie Lecestre, et al.. lasers tout cristal photonique à pompage électrique émettant en continu dans le moyen infra-rouge. Optique 2016 - JNOG, Jul 2016, Bordeaux, France. ⟨hal-01943644⟩

Ludovic Marigo-Lombart, Alexandre Arnoult, Laurent Mazenq, Pascal Dubreuil, Benjamin Reig, et al.. VCSELs fabricated using self-aligned processing. Workshop VCSEL Day 2016, Jun 2016, Darmstadt, Germany. 2p. ⟨hal-01857634⟩

Aurélie Lecestre, Pascal Dubreuil, Nicolas Mallet, Franck Carcenac, Romain Cipro, et al.. Gravure de nanofils GaAs sur substrat Si(100) pour l'intégration de nano-transistors 3D. 15èmes Journées Nano, Micro et Optoélectronique (JNMO 2016), May 2016, Les Issambres, France. ⟨hal-01330934⟩

Aurélie Lecestre, Aziliz Lecomte, David Bourrier, Pascal Dubreuil, Emeline Descamps, et al.. Plasma etching of thick Parylene C for fabrication of biocompatible electrodes . 9th Workshop on Plasma Etch and Strip in Microtechnology (PESM2016), May 2016, Grenoble, France. ⟨hal-01326492⟩

Antoine Monmayrant, Brice Adelin, Pascal Dubreuil, Aurélie Lecestre, Yves Rouillard, et al.. All Photonic Crystal electrically pumped CW mid-IR lasers. Conference on Lasers and Electro-Optics, Jun 2016, San Jose, United States. ⟨10.1364/CLEO_SI.2016.SF2L.4⟩. ⟨hal-01792997⟩

Brice Adelin, Antoine Monmayrant, Aurélie Lecestre, Pascal Dubreuil, Y. Rouillard, et al.. All photonic crystal electrically pumped GaSb laser diodes emitting at 2.4 µm for gas sensing applications. 18th International Conference on Transparent Optical Networks (ICTON 2016), Jul 2016, Trento, Italy. ⟨10.1109/ICTON.2016.7550401⟩. ⟨hal-01795080⟩

Aurore Vicet, Brice Adelin, Yves Rouillard, Michaël Bahriz, Antoine Monmayrant, et al.. Antimonide photonic crystals DFB lasers for sensing applications. Field Laser Applications in Industry and Research (FLAIR 2016), Sep 2016, Aix Les Bains, France. ⟨hal-01798045⟩

Ludovic Marigo-Lombart, Laurent Mazenq, Ludovic Salvagnac, Guillaume Libaude, Bernard Rousset, et al.. VCSELs fabricated using self-aligned processing. 42nd Micro and Nano Engineering (MNE), Sep 2016, Vienna, Austria. ⟨hal-01857636⟩

Other documents

Ludovic Marigo-Lombart, Alexandre Arnoult, Laurent Mazenq, Pascal Dubreuil, Jean-Baptiste Doucet, et al.. Développement de briques technologiques pour la fabrication d’un VCSEL avec un modulateur intégré verticalement. 15eme Journees Nano, Micro et Optoelectronique (JNMO), May 2016, Les Issambres, France. 2016. ⟨hal-01857638⟩

Reports

Hugues Granier, Adrian Laborde, Alexandre Arnoult, Antoine Maiorano, Aurélie Lecestre, et al.. Bilan 2015 des activités de la plateforme de micro et nano technologies du LAAS-CNRS. 2016. ⟨hal-01867462⟩

2015

Journal articles

Sylvain Noblecourt, Josiane Tasselli, Frédéric Morancho, Karine Isoird, Patrick Austin, et al.. Design and realisation of deep trench superjunction diode dor 600 V applications. European Journal of Electrical Engineering, 2015, ⟨10.3166/EJEE.17.345-361⟩. ⟨hal-01280199⟩

Conference papers

Fadhila Sekli-Belaidi, William Tiddi, Matthieu Polverel, Gabriel Lemercier, Aurélie Lecestre, et al.. Integration of ring nanoelectrodes into microwell for the bioelectrochemical analysis in sub-picoliter volumes. 18th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (TRANSDUCERS 2015), Jun 2015, Anchorage, AK, United States. 4p., ⟨10.1109/TRANSDUCERS.2015.7181224⟩. ⟨hal-01874765⟩

Reports

Hugues Granier, Adrian Laborde, Alexandre Arnoult, Antoine Maiorano, Aurélie Lecestre, et al.. Bilan 2014 des zones de la plateforme de micro et nanotechnologies. 2015, 105p. ⟨hal-01867464⟩