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Hugues Granier

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TEAM : Techniques and Equipment Applied to Micro and Nanotechnologies

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Latest publications

2024

Other documents

Hugues Granier, Samuel Charlot, Thomas Baron, Sylwester Bargiel, David Henry. Action concertée Packaging. Journées Nationales 2024 du PEPR électronique, Mar 2024, Grenoble, France. 2024. ⟨hal-04521788⟩

Hugues Granier, Alexandre Arnoult, David Bourrier, Laurent Bouscayrol, Pierre Francois Calmon, et al.. Bilan des activités 2023 de la plateforme de micro et nanotechnologies du LAAS-CNRS. Rapport LAAS n° 24116. 2024. ⟨hal-04583613⟩

Reports

Hugues Granier, Thomas Baron, Samuel Charlot, Sylwester Bargiel, David Henry. AC PAC CR Workshop GREMAN décembre 2023. LAAS - CNRS. 2024. ⟨hal-04395335⟩

Hugues Granier, Samuel Charlot, Thomas Baron, Sylwester Bargiel, David Henry. AC PAC 19 mars 2024 bilan 2023. LAAS - CNRS. 2024. ⟨hal-04521819⟩

2023

Conference papers

Shun Yasunaga, David Bourrier, Naonobu Shimamoto, Ayako Mizushima, Hugues Granier, et al.. Chip or Wafer -Small quantity fabrication. 3rd European Symposium on Nanofabrication Research Infrastructure - ENRIS 2023, Renatech Euronanolab, May 2023, Paris Saclay, France. ⟨hal-04131044⟩

Naonobu Shimamoto, Ayako Mizushima, David Bourrier, Etsuko Ota, Akio Higo, et al.. Micron-to-Submicron Cu electroplating in view of Agile-X LSI Chips Fabrication using Open Facility. ENRIS 2023, Renatech Euronanolab, May 2023, Paris Saclay, France. ⟨hal-04131037⟩

David Bourrier, Ayako Mizushima, Naonobu Shimamoto, Etsuko Ota, Hugues Granier, et al.. Clean room engineers' exchanges: a win/win international collaboration. ENRIS, May 2023, Paris, Saclay, France. ⟨hal-04476508⟩

Etsuko Ota, David Bourrier, Naoto Usami, Ayako Mizushima, Naonobu Shimamoto, et al.. Technology transfer of supercritical fluid deposition technology from research group to use in open nanotechnology facilities. ENRIS 2023, Renatech Euronanolab, May 2023, Paris Saclay, France. ⟨hal-04131030⟩

Hugues Granier, Eric Tasselli, Guillaume Tanneau, Emmanuel Vialan, Laurent Bouscayrol. Optimization of the energy consumption of the LAAS-CNRS micro and nanotechnologies platform. ENRIS 2023, C2N; Euronanolab; Renatech, May 2023, Saclay, France. ⟨hal-04104768⟩

Other documents

Laurent Mazenq, Franck Carcenac, Pierre-François Calmon, Emmanuelle Daran, Adrian Laborde, et al.. Moyens de lithographies de la plateforme de Micro et Nanotechnologies du LAAS-CNRS. Renatech Litho Gravure, Jan 2023, Lille, France. 2023. ⟨hal-03976338⟩

Mairame Diallo, Benjamin Reig, Hugues Granier. Guide d'utilisation du profilomètre optique SNEOX. Rapport LAAS n° 23366. 2023. ⟨hal-04235737⟩

Hugues Granier, Henry David. Action concertée transverse PAC: PACkaging et interfaçage électronique. Lancement et première journée scientifique annuelle du PEPR Électronique, Mar 2023, Poitiers, France. ⟨hal-04389001⟩

Hugues Granier, Alexandre Arnoult, David Bourrier, Laurent Bouscayrol, Pierre-François Calmon, et al.. Bilan des activités 2022 de la plateforme de micro et nanotechnologies du LAAS-CNRS. Rapport LAAS n° 23229. 2023. ⟨hal-04124098⟩

2022

Conference papers

Thomas Baron, Hugues Granier, David Henry. Programme et Equipement Prioritaire de Recherche (PEPR) d’accélération électronique. Journée Technique : Solutions Innovantes pour le Packaging Electronique, Dec 2022, Palaiseau, France. ⟨hal-04224432⟩

Other documents

Alexandre Arnoult, David Bourrier, Laurent Bouscayrol, Pierre-François Calmon, Franck Carcenac, et al.. Bilan des activités 2021 de la plateforme de micro et nanotechnologies du LAAS-CNRS. Rapport LAAS n° 22125. 2022. ⟨hal-03646902⟩

2021

Other documents

Hugues Granier, Alexandre Arnoult, David Bourrier, Laurent Bouscayrol, Pierre-François Calmon, et al.. Bilan des activités 2020 de la plateforme de micro et nanotechnologies du LAAS-CNRS. Rapport LAAS n° 21194. 2021. ⟨hal-03263205⟩

2020

Other documents

Hugues Granier, Franck Carcenac, Pierre-François Calmon, Véronique Conédéra, Monique Dilhan, et al.. Bilan des activités 2019 de la plateforme de micro et nanotechnologies du LAAS-CNRS. Rapport LAAS n° 21084. 2020. ⟨hal-03187781⟩

Hugues Granier, Monique Dilhan. Détermination du coût complet 2019 et élaboration des tarifs pour les produits et prestations de la plateforme de micro et nanotechnologies du CNRS-LAAS. Rapport LAAS n° 21085. 2020. ⟨hal-03187772⟩

2019

Conference papers

Hugues Granier, Monique Dilhan. Auditable invoicing of audited rates: a methodology for funding of an academic platform operations. European Nanofabrication Research Infrastrcutures Symposium, Jun 2019, Erschende, Netherlands. ⟨hal-02159848⟩

Other documents

Hugues Granier, Pierre-François Calmon, Franck Carcenac, Véronique Conédéra, Monique Dilhan, et al.. Bilan 2018 des activités de la centrale de micro et nanotechnologies du LAAS-CNRS et du service TEAM. Rapport LAAS n° 19151. 2019. ⟨hal-02137930⟩

2018

Other documents

Hugues Granier, Alexandre Arnoult, David Bourrier, Laurent Bouscayrol, Pierre-François Calmon, et al.. Un bilan des activités 2017 de la plateforme de micro et nanotechnologies du LAAS-CNRS. Rapport LAAS n° 18107. 2018. ⟨hal-01767583⟩

Julien Joneau, Laurent Mazenq, Séverine Vivies, Adrian Laborde, Hugues Granier. Mise au point de procédés de lithographie UV sur l'équipement Suss Microtec MA-BA6 Gen4. Rapport LAAS n° 18348. 2018. ⟨hal-01911255⟩

Reports

Ludovic Salvagnac, Hugues Granier, Séverine Vivies, Véronique Conédéra. Suivi de la réalisation du projet Thermie au 30 juin 2018. Région Occitanie. 2018. ⟨hal-02285816⟩

Séverine Vivies, Adrian Laborde, Julien Joneau, Laurent Mazenq, Hugues Granier. Mise au point d'un dépôt HMDS sur la plaque OBDUCAT QS V 200 BM. [Rapport Technique] LAAS-CNRS. 2018. ⟨hal-02572420⟩

2017

Conference papers

Hugues Granier, Michel de Labachelerie, Isabelle Sagnes, Caroline Boisard. Presentation of “Renatech”, the French network of academic microfabrication clean-rooms. ENRIS (European Nanofabrication Research Infrastructure Symposium) 2017, Nordic Nanolab Network, May 2017, Trondheim, Norway. ⟨hal-01525171⟩

Other documents

Hugues Granier, Véronique Conédéra, Monique Dilhan, Franck Carcenac, Pierre-François Calmon, et al.. Bilan des activités de la plateforme de micro et nano technologies du LAAS-CNRS. Rapport LAAS n° 17056. 2017. ⟨hal-01485548⟩

Marianne Brillat, Inès Massiot, Laurent Mazenq, Adrian Laborde, Olivier Gauthier-Lafaye, et al.. Développement d'un procédé de gravure submicronique : Approche basée sur les copolymères à blocs auto-assemblés. Rapport LAAS n° 17669. 2017. ⟨hal-01911188⟩

Reports

Quentin Gravelier, Alexandre Arnoult, Guy Lacoste, Hugues Granier. Notice Technique : Procédure d'entrée de molybloc dans la chambre d'introduction réacteurs MBE 32 et MBE 2300 . [Rapport Technique] Rapport LAAS n° 17205, LAAS-CNRS. 2017, 10p. ⟨hal-01542690v2⟩

Quentin Gravelier, Alexandre Arnoult, Guy Lacoste, Hugues Granier. Notice Technique : Procédure de sortie de molybloc de la chambre d'introduction réacteurs MBE 32 et MBE 2300. [Rapport Technique] Rapport LAAS n° 17207, LAAS-CNRS. 2017. ⟨hal-01542655v2⟩

2016

Conference papers

David Bourrier, Monique Dilhan, Hugues Granier, Arnaud Durlach. Les dépôts électrolytiques appliqués aux micro-dispositifs au LAAS. Journée Toulousaine d'Electrochimie (JTE 2016), Jul 2016, Toulouse, France. ⟨hal-01873836⟩

Other documents

Hugues Granier, Adrian Laborde, Alexandre Arnoult, Antoine Maiorano, Aurélie Lecestre, et al.. Bilan 2015 des activités de la plateforme de micro et nano technologies du LAAS-CNRS. Rapport LAAS n° 16053. 2016. ⟨hal-01867462⟩

2015

Other documents

Hugues Granier, Adrian Laborde, Alexandre Arnoult, Antoine Maiorano, Aurélie Lecestre, et al.. Bilan 2014 des zones de la plateforme de micro et nanotechnologies. Rapport LAAS n°15168. 2015, 105p. ⟨hal-01867464⟩

2014

Journal articles

David Bourrier, Ayad Ghannam, Monique Dilhan, Hugues Granier. Potential of BPN as a new negative photoresist for a very thick layer with high aspect ratio. Microsystem Technologies, 2014, 20 (10-11), pp.2089 - 2096. ⟨10.1007/s00542-014-2071-5⟩. ⟨hal-01873715⟩

Other documents

Hugues Granier, Adrian Laborde, Alexandre Arnoult, Antoine Maiorano, Aurélie Lecestre, et al.. Plate forme de micro et nanotechnologies Bilan 2013 des zones. Rapport LAAS n° 14772. 2014, 108p. ⟨hal-01867468⟩

Hugues Granier, Alexandre Arnoult, David Bourrier, Laurent Bouscayrol, Pierre-François Calmon, et al.. Protocole d'arrêt général de la plateforme de micro et nanotechnologies du LAAS-CNRS. Rapport LAAS n° 14267. 2014. ⟨hal-01867458⟩

Hugues Granier, Monique Dilhan, Christine Fourcade. Détermination du coût complet et élaboration des tarifs 2014 pour les produits et prestations de la plateforme de micro et nanotechnologies du CNRS-LAAS. Rapport LAAS N°14518. 2014. ⟨hal-01413101⟩