Zone Caractérisation

Personnel

Benjamin REIG (IR-Responsable de la zone) 
Amandine LESTRAS (AI)
 

Les moyens de caractérisation disponibles en salle blanche permettent l'étude et la validation des étapes technologiques de mise en forme des matériaux pour la réalisation des composants. Ces moyens sont en libre service après formation.
Les caractérisations des composants terminés sont effectuées au sein de la plateforme de caractérisation.

Équipements 

AFM avec des modules de SCM, de SSRM, de CAFM et de TUNA 

 

Dual Beam (MEB + FIB) FEI Hélios 600i 

 

 

MEB Hitachi S4800 et MEBS3700N 

 

 

 

Profilomètre mécanique KLA Tencor P10 
P15 et P16+ 

 

 

Profilomètre optique Veeco 

 

 

Ellipsomètre Horiba Jobin Yvon 

 

 

Résistivimètres 

 

 

Mesure d'angle de contact, d'énergie de surface ... 

 

 

Métrologie du masqueur laser 
(en zone lithographie laser

 

 

Microscope confocal 

 

 

Microscopes optiques 

 

 

Savoir Faire

Observations à toutes les échelles (microscopie optique, MEB, AFM), caractérisation physique de matériaux (ellipsomètre, analyse X sur le MEB), caractérisation topographique des composants (profilomètres optiques et tactiles), caractérisation de l'état de surface (goutte d'eau).

Image AFM d'un cristal photonique

 

Image AFM d'une membrane

 

 

Image de topographie 3D réalisée sur le Profilomètre optique (MEMS-RF)

 

 

Image de topographie (gauche) et de courant de fuite (droite) obtenue par TUNA sur un empilement vertical NiFe/PTCTE/Co (vanne de spin organique)