Zone Caractérisation
Personnel
Benjamin REIG (IR-Responsable de la zone)
Les moyens de caractérisation disponibles en salle blanche permettent l'étude et la validation des étapes technologiques de mise en forme des matériaux pour la réalisation des composants. Ces moyens sont en libre service après formation.
Les caractérisations des composants terminés sont effectuées au sein de la plateforme de caractérisation.
Équipements
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Métrologie du masqueur laser | ![]() |
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Savoir Faire
Observations à toutes les échelles (microscopie optique, MEB, AFM), caractérisation physique de matériaux (ellipsomètre, analyse X sur le MEB), caractérisation topographique des composants (profilomètres optiques et tactiles), caractérisation de l'état de surface (goutte d'eau).
Image AFM d'un cristal photonique | ![]() |
Image AFM d'une membrane | ![]() |
Image de topographie 3D réalisée sur le Profilomètre optique (MEMS-RF) |
Image de topographie (gauche) et de courant de fuite (droite) obtenue par TUNA sur un empilement vertical NiFe/PTCTE/Co (vanne de spin organique)
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