Sujets de recherche - MEMS
Intégration de matériaux avancés
- Transduction diélectrique pour les MEMS (contact: B. Legrand)
- Transduction piézo-électrique pour les MEMS (contact: L. Nicu/D. Saya)
- Matériaux à transition de spin pour l’actuation de MEMS (contact: L. Nicu/T. Leichle)
- Intégration de nanostructures hybrides (contact: C. Bergaud)
- Polymères électro-actifs pour muscles artificiels (contact: C. Bergaud)
- Muscles osmotiques (contact: V. Mansard)
- Appareils magnétiques portables (contact: T. Leichle)
Instrumentation/Caractérisations mécaniques
- AFM ultra-rapide (contact: B. Legrand)
- Ultra-low-power logic gates based on capacitive MEMS devices operating in adiabatic regime (contact: B. Legrand)
Biodétection
- Implants neuronaux pour l’enregistrement et la simulation de l’activité cérébrale (contact: C. Bergaud)
- Résonateurs MEMS pour biocapteurs (contact: L. Nicu/T. Leichle)
- Stratégies de biofonctionnalisation (contact: L. Nicu/T. Leichle)
- Nanofluidique et biodétection (contact: T. Leichle)
- Membranes de silicium poreux pour laboratoires sur puce (contact: T. Leichle)