PHOTO : Briques et procédés technologiques pour la photonique et le photovoltaïque

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Développer des composants intégrés monolithiques ou des composants innovants pour les systèmes implique d’améliorer constamment les procédés technologiques de fabrication. Sur ce point nous travaillons sur les procédés de fabrication de composants III-V, et plus particulièrement sur la maitrise des procédés d’oxydation d’AlAs, qui est un procédé clé de la fabrication des VCSELs.

D’autre part, exploiter des technologies de la microélectronique pour fabriquer des composants photoniques conduit souvent à se confronter aux contraintes induites par la spécificité d‘outils dédiés principalement au silicium, et d’identifier et de mettre au point des procédés qui relâchent ces contraintes. Sur ce point, nous travaillons sur le développement des technologies de nanoimpression par moule souple pour lever le verrou de la lithographie à haute résolution sur des substrats transparents de grande surface.