MEMS - Microsystèmes électromécaniques

Responsable : Thierry LEICHLE
Secrétariat : Anaïs MOULIS

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Les microsystèmes électromécaniques (MEMS) sont des dispositifs miniaturisés à éléments mobiles/vibrants qui sont utilisés pour réaliser des capteurs et des actionneurs. Initialement dérivés de l'industrie microélectronique, les MEMS sont maintenant présents dans une large gamme de produits de consommation.

L'équipe de recherche MEMS du LAAS travaille sur des stratégies qui visent à augmenter les performances, la fiabilité et l'intégrabilité des dispositifs MEMS mais aussi à permettre de nouvelles fonctionnalités et de nouveaux mécanismes de transduction. Dans ce but, les projets développés dans notre équipe se concentrent sur trois thèmes de recherche: l'exploration de nouveaux matériaux et procédés de fabrication alternatifs; l'intégration et la mise en œuvre de nouvelles fonctions au niveau système; et enfin le développement d'instrumentation dédiée et l’application des MEMS en particulier au domaine biomédical.

L'équipe MEMS réunit des chercheurs d’horizons divers et complémentaires. Les projets de recherche menés au sein de l'équipe MEMS sont réalisés sur les plates-formes technologiques du laboratoire, permettant à notre équipe de travailler à tous les stades de réalisation des MEMS, de la conception du dispositif à son intégration.