Lettre du LAAS

Publication trimestrielle du Laboratoire
d'analyse et d'architecture des systèmes du CNRS

Les travaux présentés dans ce manuscrit sont axés sur les procédés de dépôt, à la pression atmosphérique, de couches minces polymères. Le but de la thèse était de préciser l¹influence de différents paramètres des procédés, sur les structures et propriétés des couches minces déposées. Nous avons, d¹une part, étudié les dépôts en voie sèche de polymères isolants thermostables. Nos résultats montrent la faisabilité de déposer du Polyimide par CVD à la pression atmosphérique et mettent en exergue l¹influence des paramètres de dépôt sur la structure des couches minces déposées. D¹autre part, nous avons étudié les dépôts en solution, à la tournette, de polymères conducteurs extrinsèques. Pour cela nous avons choisi d¹appliquer le procédé de photolithographie optique à la résine époxyde photosensible SU-8, chargée par des Nano Tubes de Carbone. L¹utilisation de plans d¹expériences nous a permis d¹adapter le procédé, bien connu en microélectronique pour la résine SU-8, aux résines composites, d¹optimiser la qualité des mélanges matrice-charge et obtenir des couches minces transparentes et conductrices. En conclusion, ces travaux ont permis de corréler certaines propriétés des couches minces aux paramètres de dépôt, à pression atmosphérique, en voies sèche et humide. In fine, ces recherches ouvrent de nouvelles voies de développement en microélectronique pour fabriquer des couches minces fonctionnelles.