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VCSEL collimation using self-aligned integrated polymer microlenses
C.LEVALLOIS, V.BARDINAL, T.CAMPS, T.LEICHLE, E.DARAN, J.B.DOUCET, C.VERGNENEGRE
N2IS, TEAM, 2I, NBS, PH
Manifestation avec acte : SPIE Photonics Europe, Strasbourg (France), 7-11 Avril 2008, 8p. , N° 08174
Lien : http://hal.archives-ouvertes.fr/hal-00489082/fr/
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Mots-Clés / Keywords
micro-optics; Polymers; Microcantilevers; SU-8; VCSEL;
Effect of thermal annealing on the electrical properties of Indium Tin Oxide (ITO) contact on Be-doped GaAs for optoelectronic applications
E.HAVARD, T.CAMPS, V.BARDINAL, L.SALVAGNAC, C.ARMAND, C.FONTAINE, S.PINAUD
PH, N2IS, TEAM, INSAT
Revue Scientifique : Semiconductor Science and Technology, Vol.23, N°3, 035001p., Mars 2008 , N° 07748
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Abstract
The effects of thermal annealing on optically transparent electrodes of ITO (indium tin oxide) contact deposited on p-type Be-doped GaAs have been investigated by means of the transfer length method and secondary ion mass spectroscopy measurements. This study shows that the temperature that minimizes the specific contact resistance of ITO/GaAs (500 °C) greatly differs from the temperature that leads to a maximum conductivity of the ITO layer (600 °C) and from the values reported on ITO/GaAs in the literature. The oxygen diffusion in the semiconductor layer and its interaction with the beryllium dopant is pointed out to explain these differences.
Self-aligned polymer microlenses fabrication for VCSEL beam shaping
C.LEVALLOIS, T.LEICHLE, V.BARDINAL, T.CAMPS, J.B.DOUCET, E.DARAN, C.VERGNENEGRE
PH, NANO, MIS, TEAM, 2I
Manifestation avec acte : Optical Microsystems (OMS'07), Capri (Italie), 30 Septembre - 3 Octobre 2007, 1p. , N° 07463
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112114Guidage transverse de l'émission spontanée et photo-détection latérale entre micro-cavités "verticales"
Y.BOUCHER, V.BARDINAL, E.DARAN, T.CAMPS
PH, ENIB/RESO
Manifestation avec acte : 10ème Colloque sur les Lasers et l'Optique Quantique (COLOQ'10), Grenoble (France), 2-5 Juillet 2007, 2p. , N° 07420
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112113Conception et réalisation de microlentilles en polymère auto-alignées pour la mise en forme du faisceau laser des VCELs
C.LEVALLOIS, T.LEICHLE, V.BARDINAL, T.CAMPS, J.B.DOUCET, E.DARAN, C.VERGNENEGRE
NANO, TEAM, 2I, PH
Manifestation avec acte : Optique. Horizons de l'Optique, Grenoble (France), 2-5 Juillet 2007, pp.173-174 , N° 07203
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Résumé
Cette étude vise à intégrer des microlentilles sur la surface de VCSELs afin de contrôler leur divergence. Nous présentons une technique originale basée sur l'utilisation de micro-leviers en silicium robotisés pour déposer des microlentilles en polymère sur des piedestaux de résine épaisse(SU-8) définis par photolithographie. Les caractérisations des microlentilles par MEB(Microscopie Electronique à Balayage) et profilométrie optique ont permis d'évaluer l'influence des dimensions du piédestal sur la forme finale de la microlentille. L'auto-alignement des microlentilles avec des piédestaux à géométrie circulaire est également démontré.
Amélioration de l'uniformité d'injection électrique dans les VCSELs de grande dimension
E.HAVARD, V.BARDINAL, T.CAMPS, G.ALMUNEAU, J.B.DOUCET, L.SALVAGNAC, C.FONTAINE
PH, N2IS, TEAM
Manifestation avec acte : Optique. Horizons de l'Optique, Grenoble (France), 2-5 Juillet 2007, pp.153-154 , N° 07419
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Résumé
Nous étudions l'amélioration des propriétés électriques des VCSELs (Vertical Cavity Surface Emitting Laser) de grande dimension (100um) à injection metallique annulaire pour application à la génération de puissance et pour la manipulation de solitons de cavité. Une simulation électrique nous a permis de quantifier l'amélioration de l'uniformité d'injection des porteurs apportée par les solutions technologiques que nous proposons de réaliser: l'adjonction d'une couche conductrice d'ITO à la surface du miroir supérieur du laser est ici évaluée.
Free engineering of burried oxide patterns in GaAs/AlAs epitaxial structures
C.AMAT, G.ALMUNEAU, P.GALLO, L.JALABERT, S.MOUMDJI, P.DUBREUIL, T.CAMPS, J.B.DOUCET, E.HAVARD, V.BARDINAL, C.FONTAINE, A.MUNOZ YAGUE
PH, TEAM
Revue Scientifique : Electronics Letters, Vol.43, N°13, pp.730-732, Juin 2007 , N° 07272
Diffusion restreinte
110605Fabrication and characterization of microlens arrays using a cantilever-based spotter
V.BARDINAL, E.DARAN, T.LEICHLE, C.VERGNENEGRE, C.LEVALLOIS, T.CAMPS, V.CONEDERA, J.B.DOUCET, F.CARCENAC, H.OTTEVAERE, H.THIENPONT
PH, NANO, 2I, N2IS, TEAM, Bruxelles
Revue Scientifique : Optics Express, Vol.15, N°11, pp.6900-6907, Mai 2007 , N° 07121
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110406Spontaneous emission and lateral photo-detection in "vertical" micro-cavities
Y.BOUCHER, V.BARDINAL, E.DARAN, T.CAMPS
ENIB/RESO, PH, TEAM
Revue Scientifique : Annales de Physique, Vol.32, N°2-3, pp.111-113, 2007 , N° 07810
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Abstract
Transverse guiding mechanisms enable one to monitor the laser behaviour of a VCSEL by measuring the photo-current in the neighbouring cavity. They are described by extended (3x3) transfer matrices including sources of spontaneous emission.
A highly sensitive microsystem based on nanomechanical biosensors for genomics applications
L.M.LECHUGA, J.TAMAYO, M.ALVAREZ, L.G.CARRASCOSA, A.YUFERA, R.ROLDAN, E.PERALIAS, A.RUEDA, J.PLAZA, K.ZINOVIEV, C.DOMINGUEZ, A.ZABALLOS, M.MORENO, C.MARTINEZ, D.WENN, N.HARRIS, C.BRINGER, V.BARDINAL, T.CAMPS, C.VERGNENEGRE, C.FONTAINE, V.DIAZ, A.BERNAD
CNM, Madrid, CNB, SIC, Southampton, PH, MIS, 2I, GENETRIX
Revue Scientifique : Sensors and Actuators B: Chemical, Vol.118 , N°1-2, pp.2-10, Octobre 2006 , N° 05368
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