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A microtip self-written on a vertical-cavity surface-emitting laser by photopolymerization
V.BARDINAL, B.REIG, T.CAMPS, E.DARAN, J.B.DOUCET, C.TURCK, J-P.MALVAL, D-J.LOUGNOT, O.SOPPERA
PH, N2IS, TEAM, IS2M
Revue Scientifique : Applied Physics Letters, Vol.96, 051114p., Février 2010 , N° 10044
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120377Microplumes robotisées pour la fabrication de microlentilles en polymère
V.BARDINAL, C.VERGNENEGRE, E.DARAN, J.B.POURCIEL, J.B.DOUCET, T.CAMPS
2I, PH, TEAM, N2IS
Revue Scientifique : Techniques de l'Ingénieur, N°RE 138, pp.RE 138-1-RE 138-9, Février 2010 , N° 09398
Non diffusable
121874High reflectivity monolithic sub-wavelength diffraction grating with GaAs/AlOx stack
G.ALMUNEAU, M.CONDE, O.GAUTHIER-LAFAYE, V.BARDINAL, C.FONTAINE
PH
Manifestation sans acte : European Semiconductor Laser Workshop (ESLW 2009), Vienne (Autriche), 25-26 Septembre 2009, pp.27-27 , N° 09791
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120349Auto-alignement de microlentilles en polymère pour la focalisation active des VCSELs
B.REIG, V.BARDINAL, T.CAMPS, C.LEVALLOIS, C.VERGNENEGRE, J.B.POURCIEL, J.B.DOUCET, E.DARAN
PH, N2IS, INSA Rennes, 2I, TEAM
Manifestation sans acte : Optique 2009. Horizons de l'Optique, Lille (France), 6-9 Juillet 2009, 3p. , N° 09387
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Mots-Clés / Keywords
VCSEL; Micro-optique; Auto-alignement; MOEMs; SU-8;
VCSELs: technologies et intégration photonique
V.BARDINAL
PH
Habilitation à diriger des recherches : Université Paul Sabatier, Toulouse, Avril 2009, 111p., Président: J.JACQUET, Rapporteurs: M.COMMANDRE, D.DECOSTER, A.LE CORRE, Examinateurs: M.PUGNET, H.THIENPONT, Directrice de recherche: C.FONTAINE , N° 09412
Lien : http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00405747/fr/
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Résumé
Depuis le premier concept proposé par K.Iga il y a 30 ans jusqu'aux recherches actuelles sur l'intégration photonique des VCSELs (pour Lasers à Cavité Verticale à Emission par la Surface), une forte activité de recherches a été déployée sur ces composants optoélectroniques emblématiques, du matériau au composant jusqu'au système, leur permettant d'acquérir leur position stratégique actuelle. C'est dans cette dynamique que s'est inscrit mon parcours scientifique. Les principales activités de recherche que j'ai menées depuis 1992 sur la technologie des VCSELs et leur intégration dans des systèmes photoniques sont décrites dans ce mémoire. Je rappelle tout d'abord brièvement les avantages des dispositifs III-V à cavité verticale pour l'optoélectronique et plus particulièrement les propriétés des VCSELs, composants au centre de mes travaux. Ce contexte général étant posé, je décris les contraintes imposées lors de l'élaboration de ces dispositifs à cavité verticale sur GaAs ainsi que la technique de contrôle optique en temps réel qui m'a permis de répondre à ce défi. Je détaille ensuite mes travaux sur la photo-détection en cavité verticale, qui ont porté sur la conception, la réalisation et la caractérisation de photo-détecteurs simples à cavité massive, de VCSELs à double fonction pour la détection d'un faisceau externe, ainsi que de VCSELs avec monitoring intégré exploitant la détection latérale de l'émission spontanée dans le plan de la cavité. La thématique du contrôle de l'injection électrique dans les VCSELs de grandes dimensions pour la manipulation de solitons de cavité ou la génération de puissance est également exposée, ainsi que les études menées sur l'intégration des VCSELs dans les microsystèmes qui m'ont conduite à mettre en place une nouvelle filière sur la micro-optique intégrée à base de polymères pour ces composants. Enfin, les prospectives de recherche qu'ouvrent l'ensemble de ces travaux sont présentées ainsi que le contexte dans lequel elles s'inscrivent.
VCSEL collimation using self-aligned integrated polymer microlenses
C.LEVALLOIS, V.BARDINAL, T.CAMPS, T.LEICHLE, E.DARAN, J.B.DOUCET, C.VERGNENEGRE
N2IS, TEAM, 2I, NBS, PH
Revue Scientifique : Proceedings of SPIE. Micro-Optics, VCSELs, and Photonic Interconnects II: Fabrication, Packaging, and Integration , Vol.9692, 6992-Wp., Octobre 2008 , N° 08174
Lien : http://hal.archives-ouvertes.fr/hal-00489082/fr/
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Mots-Clés / Keywords
micro-optics; Polymers; Microcantilevers; SU-8; VCSEL;
Real-time in-situ monitoring of wet thermal oxidation for precise confinement in VCSELs
G.ALMUNEAU, R.BOSSUYT, P.COLLIERE, L.BOUSCAYROL, M.CONDE, I.SUAREZ-ALVAREZ, V.BARDINAL, C.FONTAINE
PH, TEAM
Revue Scientifique : Semiconductor Science and Technology, Vol.23, N°10, 105021p., Octobre 2008 , N° 08433
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Abstract
A new imaging method is presented enabling the monitoring of the lateral wet thermal oxidation of a thin Al-containing layer embedded in a vertical cavity lasers (VCSEL) structure. This method is based on the measurement of the modification of the VCSEL reflectivity spectrum inherent to the aperture layer refractive index change, with an observation window restricted to the wavelength ranges for which this reflectivity variation is maximal. The main purpose is the accurate control of the buried confinement aperture, and, thereby, that of the electro-optical characteristics of the laser device. The kinetics of the lateral oxidation has been studied for small-size aperture VCSEL (310 µm) and for long-range oxidation depths. This straightforward method based on an optical imaging system will enable robust improvement of the production yield of this multifactor-dependent technological process.
Self-centered polymer microlenses deposited on SU-8 patterned surfaces by means of a cantilever-based spotter
V.BARDINAL, T.CAMPS, C.LEVALLOIS, T.LEICHLE, B.REIG, J.B.DOUCET, E.DARAN, C.VERGNENEGRE
PH, N2IS, INSA Rennes, NBS, TEAM, 2I
Manifestation avec acte : EOS Annual Meeting 2008, Paris (France), 29 Septembre - 2 Octobre 2008, 2p. , N° 08829
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117824Un robot à base de microplumes pour fabriquer des microlentilles en polymère
V.BARDINAL, J.B.POURCIEL
PH, 2I
Revues de Vulgarisation : Photoniques, N°36, pp.44-45, Juillet 2008 , N° 08393
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114835Electrical and structural study of ITO/GaAs interface
E.HAVARD, V.BARDINAL, Y.KIHN, T.CAMPS, A.ROCHER, L.SALVAGNAC, C.ARMAND, C.FONTAINE
PH, CEMES/CNRS, TEAM, INSAT
Manifestation avec acte : EXMATEC 2008, Lodz (Pologne), 1-4 Juin 2008, 2p. , N° 08225
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114659