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Gravue de motifs nanométriques dans un multicouche GaAs/GaAlAs par ICP-RIE. Optimisation des paramètres du procédé
L.BOUSCAYROL, F.CARCENAC, P.DUBREUIL, L.JALABERT, S.PINAUD, L.SALVAGNAC
TEAM
Rapport LAAS N°04677, Décembre 2004, 46p.
Diffusion restreinte
103035Gravure du GaAs massif par ICP-RIE. Optimisation des paramètres du procédé
L.BOUSCAYROL, P.DUBREUIL, L.JALABERT, S.PINAUD, L.SALVAGNAC
TEAM
Rapport LAAS N°04676, Octobre 2004, 36p.
Diffusion restreinte
103034Réalisation de murs P+ traversants pour des fonctions de puissance intégrées
E.IMBERNON, J.L.SANCHEZ, E.SCHEID, F.ROSSEL, M.BREIL, H.CARRIERE, P.DUBREUIL, B.ROUSSET, P.AUSTIN
CIP, TMN, TEAM
Manifestations avec acte à diffusion limitée : Seminario Annual de Automatica, Electronica Industrial e Instrumentacion. Electronique de Puissance du Futur (SAAEI-EPF'04), Toulouse (France), 15-17 Septembre 2004, 4p. , N° 04423
Diffusable
102576Dry plus wet etching for micromachined in plane radiation antennas
M.SAADAOUI, P.PONS, A.BOUKABACHE, D.DUBUC, K.GRENIER, R.PLANA, L.BARY, P.DUBREUIL, A.MULLER, D.NECULOIU
TMN, CISHT, 2I, TEAM, IMT
Manifestations avec acte à diffusion limitée : 16th Workshop on Micromachining, Micromechanics and Microsystems, Goteborg (Suède), 4-6 Septembre 2004, 4p. , N° 04769
Diffusable
104003Détection latérale intégrée pour le contrôle de l'émission d'un VCSEL
C.BRINGER, V.BARDINAL, E.DARAN, T.CAMPS, G.ALMUNEAU, L.AMAT, P.DUBREUIL, J.B.DOUCET, C.FONTAINE
PH, 2I, TEAM
Manifestations avec acte à diffusion limitée : Xe Journées Nationales Microélectronique Optoélectronique (JNMO), La Grande Motte (France), 8-11 Juin 2004, 2p. (Résumé) , N° 04465
Diffusable
102647Nanodevices for correlated electrical transport and structural cross investigation of individual carbon nanotubes
M.SAGNES, J.M.BROTO, B.RAQUET, C.VIEU, V.CONEDERA, P.DUBREUIL, T.ONDARCUHU, C.LAURENT, E.FLAHAUT
LNCMP, NANO, TEAM, CEMES/CNRS, CIRIMAT
Revue Scientifique : Microelectronic Engineering, Vol.73-74, pp.689-694, Juin 2004 , N° 03616
Diffusable
103107Microsystème de propulsion basé sur la micro-combustion de propergol solide : une alternative pour la propulsion des futurs micro-engins spatiaux
A.CHAALANE , C.ROSSI, B.LARANGOT, P.DUBREUIL, D.ESTEVE
MIS, TEAM
Manifestations avec acte à diffusion limitée : 7èmes Journées Nationales du Réseau Doctoral de Microélectronique (JNRDM'2004), Marseille (France), 4-6 Mai 2004, pp.116-118 , N° 04269
Diffusable
102209Detection of lateral spontaneous emission for VCSEL monitoring
C.BRINGER, V.BARDINAL, E.DARAN, T.CAMPS, Y.BOUCHER, G.ALMUNEAU, O.GAUTHIER-LAFAYE, P.DUBREUIL, J.B.DOUCET, C.FONTAINE
PH, ENIB/RESO, TEAM
Manifestation avec acte : Photonics Europe, Strasbourg (France), 26-30 Avril 2004, 8p. , N° 04401
Diffusable
102509Etude d'un composant dual émetteur/détecteur
C.BRINGER, V.BARDINAL, E.DARAN, T.CAMPS, G.ALMUNEAU, P.DUBREUIL, J.B.DOUCET
PH, TEAM
Manifestations avec acte à diffusion limitée : Séminaire Annuel de l'Ecole Doctorale Génie Electrique, Electronique, Télécommunications (GEET), Toulouse (France), 22 Mars 2004, 3p. , N° 04513
Diffusable
102787Realization of vertical P+ wall through-wafer
J.L.SANCHEZ, E.SCHEID, P.AUSTIN, M.BREIL, H.CARRIERE, P.DUBREUIL, E.IMBERNON, F.ROSSEL, B.ROUSSET
CIP, TMN, TEAM
Manifestation avec acte : SPIE International Symposium on Micromachining and Microfabrication Process Technology IX, San Jose (USA), 27-29 Janvier 2004, Vol.5342, pp.119-127 , N° 03515
Diffusable
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