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Plasma etching of multilevel silicon structures by deep reactive ion etching process

D.BELHARET, P.F.CALMON, P.DUBREUIL, J.TASSELLI, H.GRANIER

TEAM, ISGE

Manifestation sans acte : Plasma Etch and Strip in Microelectronics (PESM 2012) , Grenoble (France), 15-16 Mars 2012, 2p. , N° 12131

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CR réunion du 17/03/2011: première évaluation des solutions techniques envisagées pour la réalisation d'objets de phase

V.BARDINAL, S.BONNEFONT, V.CONEDERA, E.DARAN, M.DILHAN, P.DUBREUIL, P.F.CALMON, O.GAUTHIER-LAFAYE, H.GRANIER, L.MAZENQ, A.MONMAYRANT

PH, TEAM

Rapport de Contrat : Projet FUI LASELEC - LAAS-CNRS - Amplitude systèmes, Mars 2011, 5p. , N° 11141

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Inductively coupled plasma etching of high aspect ratio two-dimensional photonic crystals in Al-rich AlGaAs and AlGaAsSb

A.LARRUE, D.BELHARET, P.DUBREUIL, S.BONNEFONT, O.GAUTHIER-LAFAYE, A.MONMAYRANT, F.LOZES-DUPUY, S.MOUMDJI

PH, TEAM

Revue Scientifique : Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, Vol.29, N°2, pp.02006-1-021006-7, Mars 2011 , N° 11015

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Plasma impedance monitoring for real time endpoint detection of bulk materials etched in ICP tool

P.DUBREUIL, D.BELHARET

TEAM

Revue Scientifique : Microelectronic Engineering, Vol.87, N°11, pp.2275-2281, Novembre 2010 , N° 10800

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Closed-end nanochannels: model platform for nanofluidic flows

P.JOSEPH, V.N.PHAN, P.DUBREUIL, P.ABGRALL, A.M.GUE, N-T. NGUYEN

NTU, Nanyang, TEAM, N2IS

Manifestation avec acte : International Conference for Chemistry and Life Sciences (MicroTAS 2010), Groningen (Pays Bas), 3-7 Octobre 2010, pp.1856-1858 , N° 10512

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Deep etching for photonic crystal in high aluminium content III-V system

A.LARRUE, S.MOUMDJI, D.BELHARET, P.DUBREUIL, S.BONNEFONT, O.GAUTHIER-LAFAYE, A.MONMAYRANT, F.LOZES-DUPUY

TEAM, PH

Manifestation avec acte : International Conference on Photonic and Electromagnetic Crystal Structures (PECS-IX 2010), Grenade (Espagne), 26-30 Septembre 2010, 1p. (Résumé) , N° 10608

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Réalisation de dispositifs nanofluidiques destinés à la manipulation de molécules d'ADN

Y.VIERO, Q.HE, A.BANCAUD, L.MAZENQ, P.DUBREUIL

TEAM, N2IS

Manifestation avec acte : Journées Nationales du Réseau Doctoral en Microélectronique (JNRDM 2010), Montpellier (France), 7-9 Juillet 2010, 4p. , N° 10499

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GaSb-based photonic crystal coupled cavity lasers above 2.3um

S.MOUMDJI, A.LARRUE, D.BELHARET, P.DUBREUIL, S.BONNEFONT, O.GAUTHIER-LAFAYE, Y.ROUILLARD, A.VICET

PH, TEAM, IES

Manifestation avec acte : SPIE Photonic Crystal Materials and Devices IX, Bruxelles (Belgique), 12-16 Avril 2010, 10p. , N° 10202

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2.6 µm GaSb based Photonic crystal Coupled Cavity Lasers

S.MOUMDJI, D.BELHARET, P.DUBREUIL, S.BONNEFONT, O.GAUTHIER-LAFAYE, Y.ROUILLARD, A.VICET

PH, TEAM, IES

Revue Scientifique : Electronics Letters, Vol.45, N°22, pp.1119-1121, Novembre 2009 , N° 09600

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Laser DFB à guides d'onde à cristaux photoniques de très fort facteur de qualité (~106)

A.LARRUE, P.DUBREUIL, D.BELHARET, A.ARNOULT, A.MONMAYRANT, S.BONNEFONT, O.GAUTHIER-LAFAYE, F.LOZES-DUPUY

PH, TEAM

Manifestation sans acte : GdR Ondes, Paris (France), 2-4 Novembre 2009, pp.122-123 , N° 09799

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