73documents trouvés
Analyse bibliographique sur l'état des connaissances en capteurs chimiques intégrés
C.BERGAUD, M.DILHAN, D.ESTEVE, A.M.GUE, P.TEMPLE BOYER
M2I, TEAM
Rapport de Contrat : Contrat CEA/DAM N°7M5489/VC, Juin 1998, 21p. , N° 98286
Non diffusable
28492From layout to system simulation: an example of an oxygen sensor
H.CAMON, M.DJAFARI ROUHANI, A.M.GUE, M.DILHAN, C.ALONSO, B.JAMMES
M2I, TEAM
Manifestation avec acte : 1st International Conference on Modeling and Simulation of Microsystems, Semiconductors, Sensors and Actuators, Santa Clara (USA), 6-8 Avril 1998, 6p. , N° 98142
Diffusable
26748Microstructures micro-ondes sur membrane diélectrique
E.SAINT ETIENNE, P.PONS, G.BLASQUEZ, P.TEMPLE BOYER, V.CONEDERA, M.DILHAN, X.CHAUFFLEUR, R.PLANA, J.SOMBRIN, J.C.LALAURIE
M2I, TEAM, CCM, CNES
Manifestations avec acte à diffusion limitée : Second Forum National ADEMIS, Paris (France), 20-21 Novembre 1997, 2p. , N° 97475
Diffusable
23682Limiting roughness in anisotropic etching
R.DIVAN, H.CAMON, N.MOLDOVAN, M.DILHAN
IMT, M2I, TEAM
Manifestation avec acte : 1997 International Semiconductor Conference (CAS'97), Sinaia (Roumanie), 7-11 Octobre 1997, pp.553-556 , N° 97390
Diffusable
22972Etude prospective de l'intégration monolithique de convertisseurs statiques de petite puissance
J.P.LAUR, V.CONEDERA, M.DILHAN, N.FABRE, D.ESTEVE, J.L.SANCHEZ, N.SENOUCI
CIP, TEAM, M2I
Rapport de Contrat : Contrat Région Midi-Pyrénées N°RECH/9508097, Octobre 1997, 10p. , N° 97409
Diffusable
23233An efficient technological process for millimemtric waves circuits on silicon
E.SAINT ETIENNE, P.PONS, G.BLASQUEZ, P.TEMPLE BOYER, V.CONEDERA, M.DILHAN, X.CHAUFFLEUR, R.PLANA
M2I, TEAM, CCM
Manifestation avec acte : 11th European Conference on Solid-State Transducers (EUROSENSORS XI), Varsovie (Pologne), 21-24 Septembre 1997, Vol.3, pp.1185-1188 , N° 97350
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22652A simple optical system to optimize a high depth to width aspect ratio applied to a positive photoresist lithography process
V.CONEDERA, N.FABRE, M.DILHAN
TEAM
Revue Scientifique : Journal of Micromechanics and Microengineering, N°7, pp.118-120, 1997 , N° 96176
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22488Procédé de réalisation d'un capteur d'oxygène micro-usiné
M.DILHAN, A.M.GUE, D.ESTEVE
TEAM, M2I
Rapport de Contrat : Convention MESR N° 93/R/04, Juin 1997, 26p. , N° 97211
Diffusable
20915Vers une nouvelle filière technologique de réalisation industrielle de circuits passifs pour ondes millimétriques sur silicium
E.SAINT ETIENNE, P.PONS, G.BLASQUEZ, P.TEMPLE BOYER, V.CONEDERA, M.DILHAN, X.CHAUFFLEUR, R.PLANA
M2I, TEAM, CCM
Manifestations avec acte à diffusion limitée : 10èmes Journées Nationales Microondes (JNM'97), Saint-Malo (France), 21-23 Mai 1997, pp.212-213 , N° 97112
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20545A simple optical system to optimize a high depth to width aspect ratio applied to a positive photoresist lithography process
V.CONEDERA, N.FABRE, M.DILHAN
TEAM
Manifestation avec acte : 7th Micromechanics Europe Workshop (MME'96), Barcelone (Espagne), 21-22 Octobre 1996, pp.28-31 , N° 96176
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