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Self-centered polymer microlenses deposited on SU-8 patterned surfaces by means of a cantilever-based spotter
V.BARDINAL, T.CAMPS, C.LEVALLOIS, T.LEICHLE, B.REIG, J.B.DOUCET, E.DARAN, C.VERGNENEGRE
PH, N2IS, INSA Rennes, NBS, TEAM, 2I
Manifestation avec acte : EOS Annual Meeting 2008, Paris (France), 29 Septembre - 2 Octobre 2008, 2p. , N° 08829
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117824VCSEL collimation using self-aligned integrated polymer microlenses
C.LEVALLOIS, V.BARDINAL, T.CAMPS, T.LEICHLE, E.DARAN, J.B.DOUCET, C.VERGNENEGRE
N2IS, TEAM, 2I, NBS, PH
Manifestation avec acte : SPIE Photonics Europe, Strasbourg (France), 7-11 Avril 2008, 8p. , N° 08174
Lien : http://hal.archives-ouvertes.fr/hal-00489082/fr/
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Mots-Clés / Keywords
micro-optics; Polymers; Microcantilevers; SU-8; VCSEL;
A simplified process for high-resolution UV-NIL templates fabrication
L.JALABERT, E.DARAN, J.B.DOUCET, F.CARCENAC, P.SALLES, G.BENASSAYAG, P.DUBREUIL, O.BOUCHARD, S.HERNANDEZ, J.NAVARRO
CEMES/CNRS, TEAM, PH, LAPLACE
Manifestation avec acte : Nanoprint Nanoimprint 2007 (NNT 2007), Paris (France), 10-12 Octobre 2007, 2p. , N° 07492
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113000Self-aligned polymer microlenses fabrication for VCSEL beam shaping
C.LEVALLOIS, T.LEICHLE, V.BARDINAL, T.CAMPS, J.B.DOUCET, E.DARAN, C.VERGNENEGRE
PH, NANO, MIS, TEAM, 2I
Manifestation avec acte : Optical Microsystems (OMS'07), Capri (Italie), 30 Septembre - 3 Octobre 2007, 1p. , N° 07463
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112114Conception et réalisation de microlentilles en polymère auto-alignées pour la mise en forme du faisceau laser des VCELs
C.LEVALLOIS, T.LEICHLE, V.BARDINAL, T.CAMPS, J.B.DOUCET, E.DARAN, C.VERGNENEGRE
NANO, TEAM, 2I, PH
Manifestation avec acte : Optique. Horizons de l'Optique, Grenoble (France), 2-5 Juillet 2007, pp.173-174 , N° 07203
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Résumé
Cette étude vise à intégrer des microlentilles sur la surface de VCSELs afin de contrôler leur divergence. Nous présentons une technique originale basée sur l'utilisation de micro-leviers en silicium robotisés pour déposer des microlentilles en polymère sur des piedestaux de résine épaisse(SU-8) définis par photolithographie. Les caractérisations des microlentilles par MEB(Microscopie Electronique à Balayage) et profilométrie optique ont permis d'évaluer l'influence des dimensions du piédestal sur la forme finale de la microlentille. L'auto-alignement des microlentilles avec des piédestaux à géométrie circulaire est également démontré.
Guidage transverse de l'émission spontanée et photo-détection latérale entre micro-cavités "verticales"
Y.BOUCHER, V.BARDINAL, E.DARAN, T.CAMPS
PH, ENIB/RESO
Manifestation avec acte : 10ème Colloque sur les Lasers et l'Optique Quantique (COLOQ'10), Grenoble (France), 2-5 Juillet 2007, 2p. , N° 07420
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112113Fabrication and characterization of microlens arrays using a cantilever-based spotter
V.BARDINAL, E.DARAN, T.LEICHLE, C.VERGNENEGRE, C.LEVALLOIS, T.CAMPS, V.CONEDERA, J.B.DOUCET, F.CARCENAC, H.OTTEVAERE, H.THIENPONT
PH, NANO, 2I, N2IS, TEAM, Bruxelles
Revue Scientifique : Optics Express, Vol.15, N°11, pp.6900-6907, Mai 2007 , N° 07121
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110406850 nm wavelength range nanoscale resonant optical filter fabrication using standard microelectronics techniques
S.HERNANDEZ, O.BOUCHARD, E.SCHEID, E.DARAN, L.JALABERT, P.ARGUEL, S.BONNEFONT, O.GAUTHIER-LAFAYE, F.LOZES-DUPUY
PH, M2D, TEAM
Revue Scientifique : Microelectronic Engineering, Vol.84, N°4, pp.673-677, Avril 2007 , N° 07019
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110000Spontaneous emission and lateral photo-detection in "vertical" micro-cavities
Y.BOUCHER, V.BARDINAL, E.DARAN, T.CAMPS
ENIB/RESO, PH, TEAM
Revue Scientifique : Annales de Physique, Vol.32, N°2-3, pp.111-113, 2007 , N° 07810
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Abstract
Transverse guiding mechanisms enable one to monitor the laser behaviour of a VCSEL by measuring the photo-current in the neighbouring cavity. They are described by extended (3x3) transfer matrices including sources of spontaneous emission.
Etude et réalisation de filtres optiques nanostructurés
S.HERNANDEZ, P.ARGUEL, S.BONNEFONT, O.BOUCHARD, L.BOUSCAYROL, E.DARAN, O.GAUTHIER-LAFAYE, L.JALABERT, F.LOZES-DUPUY, E.SCHEID
PH, TEAM, M2D
Rapport de Contrat : Contrat CNES N° 4800000258 - CNRS N°050068, Décembre 2006, 17p. , N° 06886
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