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Experimental verification of temperature coefficients of resistance for uniformly doped P-type resistors in SOI
M.OLSZACKI, C.MAJ, M.AL BAHRI, J.C.MARROT, A.BOUKABACHE, P.PONS, A.NAPIERALSKI
TEAM, N2IS, Lodz, M2D
Revue Scientifique : Journal of Micromechanics and Microengineering, Vol.20, N°6, 064008p., Juin 2010 , N° 10799
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123494The effect of parasitic doping on P-type piezoresistors
M.OLSZACKI, C.MAJ, M.AL BAHRI, P.PONS, J.C.MARROT, A.NAPIERALSKI
TEAM, M2D, Lodz
Manifestation avec acte : XXIII Eurosensors (EUROSENSORS 2009), Lausane (Suisse), 6-9 Septembre 2009, 4p. , N° 09616
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119655The effect of parasitic doping on P-type piezoresistors
M.OLSZACKI, C.MAJ, M.AL BAHRI, P.PONS, J.C.MARROT, A.NAPIERALSKI
TEAM, M2D, Lodz
Revue Scientifique : Procedia Chemistry, Vol.1, N°1, pp.44-47, Septembre 2009 , N° 09616
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126504Conception, réalisation et utilisation d'un système de stockage de sources solides d'Arsenic sous vide sur un implanteur ionique EATON 4206
J.C.MARROT, H.GRANIER
TEAM
Rapport LAAS N°09072, Mars 2009, 15p.
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116756Potentialities of glass wafers for thermal sensors and actuators development
B.MARTY, T.CAMPS, J.TASSELLI, A.MARTY, L.BOUSCAYROL, J.C.MARROT
N2IS, TEAM
Manifestation avec acte : 1st European Conference on Microfluidics (MicroFlu'08), Bologne (Italie), 10-12 Décembre 2008, 7p. , N° 08515
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Mots-Clés / Keywords
Polysilicon diodes; Surface micro-machining; Glass technology;
Development of thermal sensors and actuators on glass wafers
B.MARTY, T.CAMPS, A.MARTY, J.TASSELLI, L.BOUSCAYROL, J.C.MARROT
TEAM, MIS
Rapport LAAS N°08520, Octobre 2008, 2p.
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115213Etude et réalisation de dispositifs MOS de puissance sur GaN pour applications haute tension et haute température
E.AL ALAM, A.CAZARRE, F.MORANCHO, I.CORTES, K.ISOIRD, Y.CORDIER, J.C.MARROT
MIS, CRHEA, TEAM, ISGE
Manifestation avec acte : 12ème Journées Nano Micro et Optoélectronique, Ile d'Oléron (France), 4-6 Juin 2008, 4p. , N° 08267
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113976Thermal sensors and actuators on glass wafers for microfluidics applications
B.MARTY, T.CAMPS, J.TASSELLI, A.MARTY, L.BOUSCAYROL, J.C.MARROT
MIS, TEAM
Rapport LAAS N°08210, Mai 2008, 2p.
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113695A generic technological approach for thermal sensors and actuators development
T.CAMPS, B.MARTY, J.TASSELLI, A.MARTY, L.BOUSCAYROL, J.C.MARROT
MIS, TEAM
Rapport LAAS N°08014, Janvier 2008, 11p.
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112732A generic technological approach for thermal sensors and actuators development
T.CAMPS, B.MARTY, J.TASSELLI, A.MARTY, L.BOUSCAYROL, J.C.MARROT
MIS, TEAM
Manifestation avec acte : 18th Workshop on MicroMechanics Europe (MME 2007), Guimaraes (Portugal), 16-18 Septembre 2007, pp.47-50 , N° 07304
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Mots-Clés / Keywords
Thermal microsensor and actuator; Polysilicon; Surface micro-machining;