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Soft lithography a useful technique for biology and medicine
C.VIEU, C.THIBAULT, J.CHALMEAU, A.CERF, J.C.CAU, H.LALO, C.SEVERAC, C.MARTIN-CERCLIER, F.CARCENAC
NBS, TEAM
Manifestation avec acte : NanoBio Europe 2008, Barcelone (Espagne), 9-13 Juin 2008, 2p. , N° 08892
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122934High aspect ratio GaAs nanowires made by ICP-RIE etching using Cl2/N2 chemistry
L.JALABERT, P.DUBREUIL, F.CARCENAC, S.PINAUD, L.SALVAGNAC, H.GRANIER, C.FONTAINE
TEAM, PH
Revue Scientifique : Microelectronic Engineering, Vol.85, N°5-6, pp.1173-1178, Mai 2008 , N° 08182
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Abstract
We report an experimental study of GaAs etching by ICP-RIE based on Cl2:N2 chemistry. The influence of the RF source power, the chlorine dilution, the RF platen power, and the process pressure at several substrate temperatures are investigated. An optimized process is proposed to get routinely GaAs nanowires of 1 ¼m high and about 30 nm in diameter with a full top-down approach combining electron beam lithography and Ni lift-off steps.
Mots-Clés / Keywords
GaAs nanowires; Top-down; Plasma etching; ICP-RIE; Cl2/N2 chemistry;
A simplified process for high-resolution UV-NIL templates fabrication
L.JALABERT, E.DARAN, J.B.DOUCET, F.CARCENAC, P.SALLES, G.BENASSAYAG, P.DUBREUIL, O.BOUCHARD, S.HERNANDEZ, J.NAVARRO
CEMES/CNRS, TEAM, PH, LAPLACE
Manifestation avec acte : Nanoprint Nanoimprint 2007 (NNT 2007), Paris (France), 10-12 Octobre 2007, 2p. , N° 07492
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113000ICP-RIE etching for high aspect ratio GaAs nanowires based on Cl2/N2 chemistry
L.JALABERT, P.DUBREUIL, F.CARCENAC, S.PINAUD, L.SALVAGNAC, O.GAUTHIER-LAFAYE, S.BONNEFONT
TEAM, PH
Manifestation avec acte : 33rd International Conference on Micro and Nano Engineering (MNE2007), Copenhague (Danemark), 23-26 Septembre 2007, 2p. , N° 07491
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Mots-Clés / Keywords
ICP-RIE; Plasma etching; Cl2/N2 chemistry; GaAs nano-columns; GaAs nanowires;
Fabrication and characterization of microlens arrays using a cantilever-based spotter
V.BARDINAL, E.DARAN, T.LEICHLE, C.VERGNENEGRE, C.LEVALLOIS, T.CAMPS, V.CONEDERA, J.B.DOUCET, F.CARCENAC, H.OTTEVAERE, H.THIENPONT
PH, NANO, 2I, N2IS, TEAM, Bruxelles
Revue Scientifique : Optics Express, Vol.15, N°11, pp.6900-6907, Mai 2007 , N° 07121
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110406Progress report on patterned 2D/3D assembly
M.GENEVIEVE, C.THIBAULT, J.C.CAU, H.LALO, C.SEVERAC, F.CARCENAC, C.VIEU
NANO, TEAM
Rapport de Contrat : Contrat NAPA, Octobre 2006, 6p. , N° 06682
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108154Etching at the nanometric scale
C.VIEU, F.CARCENAC, E.DARAN, L.JALABERT
NANO, TEAM
Rapport de Contrat : Contrat NAPA, Octobre 2006, 7p. , N° 06668
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108058Multiplexing micro-contact technology
J.C.CAU, C.THIBAULT, J.P.PEYRADE, F.CARCENAC, X.DOLLAT, C.VIEU
NANO, INSAT, TEAM, 2I
Rapport de Contrat : Contrat NAPA, Octobre 2006, 4p. , N° 06677
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108085Interdigitated nanoelectrodes for nanoparticle detection
L.MALAQUIN, C.VIEU, C.MARTINEZ, B.STECK, F.CARCENAC
NANO, TEAM
Revue Scientifique : Nanotechnology, Vol.16, N°5, pp.S240-S245, Mai 2005 , N° 04674
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105552Les nanotechnologies au service des biopuces, l'exemple toulousain
C.VIEU, L.MALAQUIN, C.THIBAULT, A.E.SALIBA, E.DARAN, M.DILHAN, F.CARCENAC
NANO, TEAM
Revue Scientifique : Biofutur, N°250, p.41, Décembre 2004 , N° 04673
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