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Polymer-based micro deformable mirror for adaptive optics

A.LIOTARD, F.ZAMKOTSIAN, V.CONEDERA, N.FABRE, P.LANZONI, H.CAMON, F.CHAZALLET

TEAM, MIS, Shaktiware, LA Marseille

Manifestation avec acte : Conference on "MEMS/MOEMS Components and their Applications III". SPIE MOEM-MEMS 2006, San Jose (USA), 21-26 Janvier 2006, 12p. , N° 05700

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A novel fabrication method of flexible and monolithic 3D microfluidic structures using lamination of SU-8 films

P.ABGRALL, C.LATTES, V.CONEDERA, S.COLIN, A.M.GUE

MIS, LGMT-INSAT, TEAM

Revue Scientifique : Journal of Micromechanics and Microengineering, Vol.16, N°1, pp.113-121, 2006 , N° 05620

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SU-8 technology for free-standing structures in optical and fluidic MEMS

P.ABGRALL, H.CAMON, V.CONEDERA, N.FABRE, A.M.GUE

MIS, TEAM

Manifestation avec acte : International Conference on Micro, Electro-Mechanical, Opto & Nano Systems (MICRO SYSTEM Technologies 2005), Munich (Allemagne), 5-6 Octobre 2005, pp.40-47 , N° 05409

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MOEMS devices for future astronomical instrumentation

F.ZAMKOTSIAN, A.LIOTARD, P.LANZONI, K.ELHADI, V.CONEDERA, N.FABRE, S.MURATET, H.CAMON, S.WALDIS, W.NOELL

LAM Marseille, TEAM, MIS, IMT Neuchâtel

Manifestations avec acte à diffusion limitée : 5th ESA Round Table on Micro/Nano Technologies for Space, Noordwijk (Pays-Bas), 3 Octobre 2005 (Résumé) , N° 05648

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Fabrication of an integrated spiral-type inductor dedicated to DC-DC microconverters

J.P.LAUR, G.TROUSSIER, J.L.SANCHEZ, D.BOURRIER, V.CONEDERA, M.DILHAN, T.EL MASTOULI, Y.LEMBEYE, H.MOREL, D.LIGOT, B.COGITORE

CIP, TEAM, SIG2E, LEG, CEGELY, MICROSPIRE

Manifestation avec acte : 11th European Conference on Power Electronics and Applications (EPE'2005), Dresde (Allemagne), 11-14 Septembre 2005, 6p. , N° 05526

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Determination of menthol kinetic constants with love-wave device

F.RAZAN, D.REBIERE, C.DEJOUS, D.MONIN, M.JOANICOT, V.CONEDERA

IXL, RHODIA Auber, RHODIA, TEAM

Manifestation avec acte : EUROSENSORS XIX, Barcelone (Espagne), 11-14 Septembre 2005 , N° 06722

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Development of MEMS based safe electro-thermal pyrotechnic igniter for a new generation of microfuze

P.PENNARUN, C.ROSSI, D.ESTEVE, V.CONEDERA

MIS, TEAM

Conférence invitée : Invited paper. Microtechnologies Conference for the New Millennium 2005. Smart Sensors, Actuators, and MEMS II, Séville (Espagne), 9-11 Mai 2005, Vol.5836, pp.558-569 , N° 05215

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High power handling RF MEMS design and technology

K.GRENIER, D.DUBUC, B.DUCAROUGE, V.CONEDERA, D.BOURRIER, E.ONGAREAU, P.DERDERIAN, R.PLANA

CISHT, TEAM, MBDA

Manifestation avec acte : 18th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS'2005), Miami (USA), 30 Janvier - 3 Février 2005, pp.155-158 , N° 04466

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Polymer-based micro deformable mirror for adaptive optics applications

F.ZAMKOTSIAN, V.CONEDERA, A.LIOTARD, A.SCHRODER, N.FABRE, H.CAMON, P.LANZONI

LAM Marseille, TEAM, MIS

Manifestation avec acte : SPIE Symposium on MOEMS-MEMS Micro & Nanofabrication, San Jose (USA), 22-27 Janvier 2005, 11p. , N° 05030

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Les techniques de photolithographie

N.FABRE, V.CONEDERA

TEAM

Ouvrage (contribution) : Techniques de fabrication des microsystèmes 1. Structures et microsystèmes électromécaniques en couches minces, Traité EGEM Electronique, Génie électrique, Microsystèmes, Hermes Science, N°ISBN 2-7462-0817-2, 2004, Chapitre 2, pp.39-67 , N° 04012

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