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Conception et réalisation d'une plateforme d'instrumentation thermique pour les applications micro-fluidiques
B.MARTY, T.CAMPS, A.MARTY, J.TASSELLI, D.LAGRANGE
N2IS, 2I
Manifestation avec acte : Journées Nationales du GDR MNS, Montpellier (France), 3-5 Décembre 2008, 2p. , N° 08750
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116254Development of thermal sensors and actuators on glass wafers
B.MARTY, T.CAMPS, A.MARTY, J.TASSELLI, L.BOUSCAYROL, J.C.MARROT
TEAM, MIS
Rapport LAAS N°08520, Octobre 2008, 2p.
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115213VCSEL collimation using self-aligned integrated polymer microlenses
C.LEVALLOIS, V.BARDINAL, T.CAMPS, T.LEICHLE, E.DARAN, J.B.DOUCET, C.VERGNENEGRE
N2IS, TEAM, 2I, NBS, PH
Revue Scientifique : Proceedings of SPIE. Micro-Optics, VCSELs, and Photonic Interconnects II: Fabrication, Packaging, and Integration , Vol.9692, 6992-Wp., Octobre 2008 , N° 08174
Lien : http://hal.archives-ouvertes.fr/hal-00489082/fr/
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Mots-Clés / Keywords
micro-optics; Polymers; Microcantilevers; SU-8; VCSEL;
Self-centered polymer microlenses deposited on SU-8 patterned surfaces by means of a cantilever-based spotter
V.BARDINAL, T.CAMPS, C.LEVALLOIS, T.LEICHLE, B.REIG, J.B.DOUCET, E.DARAN, C.VERGNENEGRE
PH, N2IS, INSA Rennes, NBS, TEAM, 2I
Manifestation avec acte : EOS Annual Meeting 2008, Paris (France), 29 Septembre - 2 Octobre 2008, 2p. , N° 08829
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117824Electrical and structural study of ITO/GaAs interface
E.HAVARD, V.BARDINAL, Y.KIHN, T.CAMPS, A.ROCHER, L.SALVAGNAC, C.ARMAND, C.FONTAINE
PH, CEMES/CNRS, TEAM, INSAT
Manifestation avec acte : EXMATEC 2008, Lodz (Pologne), 1-4 Juin 2008, 2p. , N° 08225
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114659Thermal sensors and actuators on glass wafers for microfluidics applications
B.MARTY, T.CAMPS, J.TASSELLI, A.MARTY, L.BOUSCAYROL, J.C.MARROT
MIS, TEAM
Rapport LAAS N°08210, Mai 2008, 2p.
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113695Nouvelle approche technologique pour le développement de capteurs et d'actionneurs de température
B.MARTY, T.CAMPS
N2IS
Manifestation avec acte : 11e Journées Nationales du Réseau Doctoral en Microélectronique (JNRDM), Bordeaux (France), 14-16 Mai 2008, 4p. , N° 08751
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116256VCSEL collimation using self-aligned integrated polymer microlenses
C.LEVALLOIS, V.BARDINAL, T.CAMPS, T.LEICHLE, E.DARAN, J.B.DOUCET, C.VERGNENEGRE
N2IS, TEAM, 2I, NBS, PH
Manifestation avec acte : SPIE Photonics Europe, Strasbourg (France), 7-11 Avril 2008, 8p. , N° 08174
Lien : http://hal.archives-ouvertes.fr/hal-00489082/fr/
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Mots-Clés / Keywords
micro-optics; Polymers; Microcantilevers; SU-8; VCSEL;
Effect of thermal annealing on the electrical properties of Indium Tin Oxide (ITO) contact on Be-doped GaAs for optoelectronic applications
E.HAVARD, T.CAMPS, V.BARDINAL, L.SALVAGNAC, C.ARMAND, C.FONTAINE, S.PINAUD
PH, N2IS, TEAM, INSAT
Revue Scientifique : Semiconductor Science and Technology, Vol.23, N°3, 035001p., Mars 2008 , N° 07748
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Abstract
The effects of thermal annealing on optically transparent electrodes of ITO (indium tin oxide) contact deposited on p-type Be-doped GaAs have been investigated by means of the transfer length method and secondary ion mass spectroscopy measurements. This study shows that the temperature that minimizes the specific contact resistance of ITO/GaAs (500 °C) greatly differs from the temperature that leads to a maximum conductivity of the ITO layer (600 °C) and from the values reported on ITO/GaAs in the literature. The oxygen diffusion in the semiconductor layer and its interaction with the beryllium dopant is pointed out to explain these differences.
A generic technological approach for thermal sensors and actuators development
T.CAMPS, B.MARTY, J.TASSELLI, A.MARTY, L.BOUSCAYROL, J.C.MARROT
MIS, TEAM
Rapport LAAS N°08014, Janvier 2008, 11p.
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