Retour au site du LAAS-CNRS

Dielectric charging in silicon nitride films for MEMS capacitive switches : Effect of film thickness and deposition conditions

U.ZAGHLOUL HEIBA, G.J.PAPAIOANNOU, F.COCCETTI, P.PONS, R.PLANA

Athenes, 2I, MINC

Revue Scientifique : Microelectronics Reliability, Vol.49, N°9-11, pp.1309-1314, Septembre 2009 , N° 09609

Diffusable

Ajouter au panier 119253

Caractérisation mécanique de films minces par une méthode éléments finis recalée sur un test de gonflement

H.YOUSSEF, A.FERRAND, P.PONS, R.PLANA

MINC, LGMT-INSAT

Manifestation avec acte : 19ème Congrès Français de Mécanique (CFM'09), Marseille (France), 24-28 Août 2009, 7p. , N° 09396

Diffusable

Ajouter au panier 119498

Micro and nanoengineering of electromagnetic energy: applications to sensors, communications, scavenger

M. M.JATLAOUI, F.CHEBILA, P.PONS, H.AUBERT, F.COCCETTI, G.J.PAPAIOANNOU, M.DRAGOMAN, D.NECULOIU, D.DRAGOMAN, A.MULLER, G.KONSTANTINIDIS, R.PLANA

MINC, Athenes, IMT, MRG FORTH

Manifestation avec acte : Joint IFIN-HH, ICTP, IAEA Workshop on Trends in Nanoscience: Theory, Experiment, Technology, Sibiu (Roumanie), 23-30 Août 2009, 1p. (Résumé) , N° 09918

Diffusable

Ajouter au panier 122545

RF MEMS/NEMS technologies for advanced sensors and scavengers

M. M.JATLAOUI, F.CHEBILA, P.PONS, H.AUBERT, F.COCCETTI

MINC

Manifestation avec acte : Joint IFIN-HH, ICTP, IAEA Workshop on Trends in Nanoscience: Theory, Experiment, Technology, Sibiu (Roumanie), 23-30 Août 2009, 2p. , N° 09914

Diffusable

Ajouter au panier 122255

Deposition Conditions on Charging Process in Silicon Nitride Films Based on Kevin

A.BELARNI, U.ZAGHLOUL HEIBA, G.J.PAPAIOANNOU, F.COCCETTI, P.PONS, R.PLANA

MINC, Athenes, 2I

Manifestation avec acte : 10th International Symposiumon RF MEMS and RF Microsystems (MEMSWAVE 2009), Trento (Italie), 6-8 Juillet 2009, pp.97-100 , N° 09886

Diffusable

Ajouter au panier 120595

Investigation of dielectric charging in low frequency PECVD silicon nitride films for MEMS capacitive switches

U.ZAGHLOUL HEIBA, G.J.PAPAIOANNOU, F.COCCETTI, P.PONS, R.PLANA

MINC, Athenes, 2I

Manifestation avec acte : MEMSWAVE 2009, Trento (Italie), 6-8 Juillet 2009, pp.125-128 , N° 09519

Diffusable

Ajouter au panier 118790

New electromagnetic transduction micro-sensor concept for passive wireless pressure monitoring application

M. M.JATLAOUI, F.CHEBILA, I.EL GMATI, P.PONS, H.AUBERT

MINC

Manifestation avec acte : The 15th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2009), Denver (USA), 21-25 Juin 2009, 4p. , N° 09333

Diffusable

Ajouter au panier 118007

Reconfigurable multi-band scatterers for micro-sensors identification

F.CHEBILA, M. M.JATLAOUI, P.PONS, H.AUBERT

M2D, MINC

Manifestation avec acte : IEEE 2009 International Symposium on Antennas and Propagation (APS 2009), Charleston (USA), 1-5 Juin 2009, 4p. , N° 09266

Diffusable

Ajouter au panier 117758

A comprehensive study for dielectric charging process in silicon nitride films for RF MEMS switches using Kelvin Probe Microscopy

U.ZAGHLOUL HEIBA, A.BELARNI, F.COCCETTI, G.J.PAPAIOANNOU, L.BOUSCAYROL, P.PONS, R.PLANA

2I, Athenes, TEAM, MINC

Manifestation avec acte : The 15th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2009), Denver (USA), 21-25 Juin 2009, 5p. , N° 09518

Diffusable

Plus d'informations

Ajouter au panier 118788

Déphaseurs à base de MEMS RF à 60 GHz pour systèmes à réseaux d'antennes reconfigurables

V.PUYAL, D.DRAGOMIRESCU, C.VILLENEUVE, P.PONS, R.PLANA

MINC

Manifestation avec acte : 16èmes Journées Nationales Microondes (JNM 2009), Grenoble (France), 27-29 Mai 2009, 2p. , N° 09093

Diffusable

Ajouter au panier 117613