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Nouveau capteur de gaz hyperfréquence à base d'un résonateur diélectrique en SnO2
H.HALLIL, P.MENINI, H.AUBERT
M2D, MINC
Manifestation avec acte : Journées Nationales du Réseau Doctoral de Microélectronique (JNRDM 2009), Lyon (France), 18-20 Mai 2009, 2p. , N° 09219
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Résumé
Cette communication présente un nouveau capteur pour la détection de gaz. Ce capteur repose sur la mesure de la fréquence de résonance des modes de galerie dans un résonateur diélectrique hyperfréquence. Le matériau diélectrique utilisé est le SnO2. Ce matériau présente une permittivité diélectrique qui dépend de la concentration en gaz. Les résultats de simulation indiquent que la modification de cette permittivité due à la présence de gaz peut induire une variation significative de la fréquence de résonance des modes de galerie. Ce résultat tient au fait que les modes de galerie considérés répartissent leur énergie sur une surface importante du résonateur diélectrique, augmentant ainsi la surface d'interaction champ/matériau sensible au gaz
Nouveau détecteur de gaz hyperfréquence à modes de galerie
H.HALLIL, P.MENINI, H.AUBERT
M2D, MINC
Manifestation avec acte : 16èmes Journées Nationales Microondes (JNM 2009), Grenoble (France), 27-29 Mai 2009, 4p. , N° 09260
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117712Modélisation multi-échelle de capteurs chimiques à base de SnO2
J.M.DUCERE, A.HEMERYCK, A.ESTEVE, M.DJAFARI ROUHANI, G.LANDA, C.TROPIS, P.MENINI, A.MAISONNAT, P.FAU, B.CHAUDRET
N2IS, M2D, LCC
Manifestation sans acte : GDR-DFT++, Dourdan (France), 2-6 Février 2009, 1p. (Résumé) , N° 09528
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118894Modélisation multi-échelle de capteurs à gaz: de la DFT au macroscopique
J.M.DUCERE, A.HEMERYCK, A.ESTEVE, M.DJAFARI ROUHANI, G.LANDA, C.TROPIS, P.MENINI, A.MAISONNAT, P.FAU, B.CHAUDRET
N2IS, M2D, LCC
Manifestation sans acte : GDR - DFT ++, Toulouse (France), 16-18 Décembre 2008, 1p. (Résumé) , N° 08871
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118910High performances of new microhotplate for gas sensors
P.MENINI, H.CHALABI, N.YOBOUE, V.CONEDERA, L.SALVAGNAC, K.AGUIR
M2D, TEAM, L2MP
Manifestation avec acte : Eurosensors XXII, Dresde (Allemagne), 7-10 Septembre 2008, 3p. , N° 08557
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Mots-Clés / Keywords
Microtechnology; Microhotplate; Semi-conducting gas sensors;
Multi-scale modeling: SnO2-based gas sensors
J.M.DUCERE, A.HEMERYCK, A.ESTEVE, M.DJAFARI ROUHANI, G.LANDA, C.TROPIS, P.MENINI, A.MAISONNAT, P.FAU, B.CHAUDRET
N2IS, M2D, LCC
Conférence invitée : NAMiS Autumn School, Tokyo (Japon), 28 Septembre - 4 Octobre 2008, 1p. (Résumé) , N° 08870
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118908Density functional theory applied to gas sensors: reaction pathways between SnO2 and various gases
J.M.DUCERE, N.JEMAI, A.ESTEVE, G.LANDA, P.MENINI, M.DJAFARI ROUHANI
MIS, M2D
Rapport LAAS N°07626, Novembre 2007, 32p.
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Mots-Clés / Keywords
DFT calculations; Solid-gas interactions; Gas sensor;
Smart nose for hazardous Gas monitoring
H.CHALABI, K.A.NGO, K.AGUIR, P.MENINI, J.GUERIN, L.SALVAGNAC, E.SCHEID
M2D, L2MP, TEAM
Rapport LAAS N°07558, Octobre 2007, 2p.
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111681MICROPACC: plateforme technologique d'assemblage électronique pour la formation et l'expertise
N.JEMAI, C.KAISER, F.FOURGNAUD, J.P. AIMONETTO, P.MENINI, J.TASSELLI, J.Y.FOURNIOLS
MIS, NOVATEC, Montauban, Lycée Bourdelle, M2D
Manifestation avec acte : Interconnex 2007, Toulouse (France), 25-26 Septembre 2007, 1p. , N° 07335
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112177Development of a micro-hotplate for different metal oxide gas sensors with high operating temperature
N.YOBOUE, P.MENINI, H.CHALABI, V.CONEDERA, L.SALVAGNAC, E.SCHEID
M2D, TEAM
Manifestation avec acte : 18th Workshop on MicroMechanics Europe (MME 2007), Guimaraes (Portugal), 16-18 Septembre 2007, pp.191-194 , N° 07526
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Abstract
The main goal of this work is to realize a metal oxide gas sensor with stable operating temperature. This article describes our approach and the technological process used to reach a high and stable operating temperature (650-700°C), with low consumption (100mW) and good thermal homogeneity all over the active area.
Mots-Clés / Keywords
Micro-hotplates; Semi-conducting gas sensors; Nanoparticles; Micro-cavity; Tin oxides; Microtechnology; Inter-digitized electrodes;