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Temperature and process control in rapid thermal processing

J.M.DILHAC

CIP

Ouvrage (contribution) : NATO ASI Series. Advanced in Rapid Thermal and Integrated Processing, Ed. F.Roozeboom, Kluwer Academic Publishers, N°ISBN 0-7923-4011-6, 1996, pp.143-169 , N° 96127

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Thermal modeling of a water in a rapid thermal processor

J.M.DILHAC, N.NOLHIER, C.GANIBAL, C.ZANCHI

CIP, 2I, CCM

Revue Scientifique : IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing, Vol.8, N°4, pp.432-439, Novembre 1995 , N° 95546

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A new barrier lowering model for metal-silicide Schottky power diodes

C.FURIO, G.CHARITAT, A.LHORTE, J.M.DILHAC

CIP, EXT

Manifestation avec acte : 6th European Conference on Power Electronics and Applications (EPE'95), Seville (Espagne), 19-21 Septembre 1995, pp.2.012-2.015 , N° 95150

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Recristallisation du silicium pour l'isolation diélectrique de circuits intégrés de puissance haute tension

J.M.DILHAC, M.BAFLEUR, D.ZERROUK, C.GANIBAL

CIP, 2I

Rapport de Contrat : Contrat Région Midi-Pyrénées RECH/9307937, Septembre 1995, 10p. , N° 95365

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Zone melting recrystallization of thick polysilicon films

J.M.DILHAC, D.ZERROUK, C.GANIBAL, P.ROSSEL, M.BAFLEUR

CIP, 2I

Manifestation avec acte : 3rd International Rapid Thermal Processing Conference (RTP'95), Amsterdam (Pays-Bas), 30 Août - 1er Septembre 1995, pp.312-315 , N° 95349

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Temperature uniformity control in RTP using multivariable adaptive control

S.MORALES, B.DAHHOU, J.M.DILHAC

AS, CIP

Manifestation avec acte : 3rd International Rapid Thermal Processing Conference (RTP'95), Amsterdam (Pays-Bas), 30 Août - 1er Septembre 1995, pp.251-260 , N° 95226

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Modélisation des structures de base pour produits "Application Specific Discretes"

G.CHARITAT, J.M.DILHAC

CIP

Rapport de Contrat : Contrat SRICS/SGS THOMSON Microelectronics/CNRS, N°94.2.93.0246, Mai 1995, 47p. , N° 95162

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Etude analytique et numérique des structures mixtes Schottky bipolaire basse tension

C.FURIO, G.CHARITAT, J.M.DILHAC

CIP

Rapport de Contrat : Contrat SERICS/SGS THOMSON Microelectronics, Mars 1995, 36p. , N° 95144

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Etude analytique et numérique d'une structure SOI

D.ZERROUK, N.NOLHIER, G.CHARITAT, J.M.DILHAC

CIP

Rapport de Contrat : Contrat Région Midi-Pyrénées N°9300090, Février 1995, 40p. , N° 95177

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Etude analytique et numérique des diodes Schottky de puissance 15A/45V

C.FURIO, G.CHARITAT, J.M.DILHAC

CIP

Rapport de Contrat : Contrat SERICS/SGS Thomson N°932930214, Septembre 1994, 71p. , N° 94294

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