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A partial state model reference adaptive control of a rapid thermal processor

K.DJEBARA, B.DAHHOU, J.P.BABARY, A.KHELLAF, C.GANIBAL

EXT, SNL, 2I

Revue Scientifique : International Journal of Adaptive Control and Signal Processing, Vol.7, N°1, pp.45-61, Janvier 1993 , N° 92079

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Commande adaptative multivariable appliquée à la technologie microélectronique

J.P.BABARY, J.M.DILHAC, B.DAHHOU, N.NOLHIER, J.C.CAMBUS, S.MORALES, C.GANIBAL, L.AMAT

SNL, CIP, EXT, 2I

Rapport de Contrat : Contrat Région Midi-Pyrénées N°9007833, Février 1993, 42p. , N° 93034

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In-process control of silicide formation during rapid thermal processing

J.M.DILHAC, C.GANIBAL, N.NOLHIER, P.B.MOYNAGH, C.P.CHEW, P.J.ROSSER

CCEC, 2I, EXT, CIP

Revue Scientifique : Applied Surface Science, N°63, pp.131-134, 1993 , N° 92212

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Procédé et dispositif d'étalonnage d'un pyromètre optique et plaquettes étalons correspondantes

J.M.DILHAC, C.GANIBAL, B.ROUSSET

CIP, 2I, TEAM

Brevet : Brevet d'invention CEE Grand Duché de Luxembourg, N°87.933, 15 Décembre 1992, 17p. , N° 91438

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Mesure et commande dans un équipement multichambre pour circuits ASIC

J.M.DILHAC, C.GANIBAL, L.AMAT, J.BORDENEUVE, N.NOLHIER

CIP, 2I, SNL, EXT, CCEC

Rapport de Contrat : Contrat Région Midi-Pyrénées N°9000831, Décembre 1992, 20p. , N° 92453

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Optical and thermal modeling of a rapid thermal processor

J.M.DILHAC, N.NOLHIER, C.GANIBAL

CIP, EXT, 2I, CCEC

Manifestation avec acte : Microelectronic Processing'92, San Jose (USA), 21-25 Septembre 1992, 11p. , N° 92487

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In-process control of co silicide formation by RTA

J.M.DILHAC, C.GANIBAL, N.NOLHIER, P.B.MOYNAGH, C.P.CHEW, P.J.ROSSER

2I, EXT, CIP, CCEC

Manifestation avec acte : 22nd European Solid State Device Research Conference (ESSDERC'92), Leuven (Belgique), 14-17 Septembre 1992 , N° 92325

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In-process control of co silicide formation by RTA

J.M.DILHAC, C.GANIBAL, N.NOLHIER, P.B.MOYNAGH, C.P.CHEW, P.J.ROSSER

2I, EXT, CIP, CCEC

Ouvrage (contribution) : Solid State Device Research 92, Ed. H.E.Maes, R.P.Mertens, R.J.Van Overstraeten, Elsevier, 1992, pp.379-382 , N° 92325

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In-process control of silicide formation during rapid thermal processing

J.M.DILHAC, C.GANIBAL, N.NOLHIER, P.B.MOYNAGH, C.P.CHEW, P.J.ROSSER

CCEC, 2I, EXT, CIP

Manifestation avec acte : EMRS 1992 Spring Meeting, Strasbourg (France), 2-5 Juin 1992, 6p. , N° 92212

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Temperature measurement and control in a rapid thermal processor

J.M.DILHAC, C.GANIBAL, N.NOLHIER, L.AMAT, K.DJEBARA

CCEC, 2I, EXT

Manifestation avec acte : STEP'92. A SEMI Technical Education Program, Zurich (Suisse), 10-11 Mars 1992, 9p. , N° 92026

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