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Electrical, photoluminescence and reflected second harmonic generation characterisation of Ge- and B- implanted CuGaSe2 single crystals
J.H.SCHON, E.ARUSHANOV, L.KULYUK, A.MICU, D.SHABAN, V.TEZLEVAN, H.STRUSNY, N.FABRE, E.BUCHER
Konstanz, Moldova, BERLIN, TEAM
Manifestation avec acte : 11th International Conference on Ternary & Multinary Compounds, Salford (GB), 8-12 Septembre 1997, 4p. , N° 97401
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23010A simple optical system to optimize a high depth to width aspect ratio applied to a positive photoresist lithography process
V.CONEDERA, N.FABRE, M.DILHAN
TEAM
Revue Scientifique : Journal of Micromechanics and Microengineering, N°7, pp.118-120, 1997 , N° 96176
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22488Non sticking layer for silicon micromotors
H.CAMON, V.CONEDERA, N.FABRE, J.M.CHOVELON, C.MARTELET, M.BELIN
M2I, TEAM, IFOS, LTDS/CNRS
Manifestation avec acte : 7th Micromechanics Europe Workshop (MME'96), Barcelone (Espagne), 21-22 Octobre 1996, pp.105-108 , N° 96405
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16056A simple optical system to optimize a high depth to width aspect ratio applied to a positive photoresist lithography process
V.CONEDERA, N.FABRE, M.DILHAN
TEAM
Manifestation avec acte : 7th Micromechanics Europe Workshop (MME'96), Barcelone (Espagne), 21-22 Octobre 1996, pp.28-31 , N° 96176
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16043Décontamination de surfaces de semiconducteur par plasma réactif
N.FABRE, M.DILHAN, H.H.PHAM, V.CONEDERA, M.BENOIT, B.ROUSSET, F.ROSSEL
TEAM
Rapport de Contrat : Convention Région N° RECH/93.000.91, Juin 1996, 46p. , N° 96207
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13996Fabrication of buried co-planar metal-insulator-metal nanojunctions with a gap lower than 10 nm
V.ROUSSET, C.JOACHIM, S.ITOUA, B.ROUSSET, N.FABRE
TEAM, EXT
Revue Scientifique : Journal de Physique III, Vol.5, N°12, pp.1983-1989, 1995 , N° 95527
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13064Micro actionneur tout silicium
H.CAMON, V.CONEDERA, B.ROUSSET, H.H.PHAM, N.FABRE, Y.LEFEVRE
M2I, TEAM, EXT
Rapport de Contrat : Contrat Région Midi-Pyrénées, N°RECH/9307926, Novembre 1995, 11p. , N° 95483
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12920First steps towards the fabrication of electrostatic micromotors using SOG
V.CONEDERA, N.FABRE, H.CAMON, B.ROUSSET, H.H.PHAM, C.SOLANO
TEAM, M2I
Revue Scientifique : Sensors and Actuators A, Vol.A46, pp.82-84, 1995 , N° 94466
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10877First steps towards the fabrication of electrostatic micromotors using SOG
V.CONEDERA, N.FABRE, H.CAMON, B.ROUSSET, H.H.PHAM, C.SOLANO
TEAM, M2I
Manifestation avec acte : Eurosensors VIII, Toulouse (France), 26-28 Septembre 1994, 13p. , N° 94466
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10876Décontamination de surfaces de semiconducteurs par plasma réactif
N.FABRE, H.H.PHAM, B.ROUSSET
TEAM
Rapport de Contrat : Convention Région RECH/9300091, Septembre 1994, 17p. , N° 94370
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