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MOEMS devices for future astronomical instrumentation
F.ZAMKOTSIAN, A.LIOTARD, P.LANZONI, K.ELHADI, V.CONEDERA, N.FABRE, S.MURATET, H.CAMON, S.WALDIS, W.NOELL
LAM Marseille, TEAM, MIS, IMT Neuchâtel
Manifestations avec acte à diffusion limitée : 5th ESA Round Table on Micro/Nano Technologies for Space, Noordwijk (Pays-Bas), 3 Octobre 2005 (Résumé) , N° 05648
Diffusable
105348Polymer-based micro deformable mirror for adaptive optics applications
F.ZAMKOTSIAN, V.CONEDERA, A.LIOTARD, A.SCHRODER, N.FABRE, H.CAMON, P.LANZONI
LAM Marseille, TEAM, MIS
Manifestation avec acte : SPIE Symposium on MOEMS-MEMS Micro & Nanofabrication, San Jose (USA), 22-27 Janvier 2005, 11p. , N° 05030
Diffusable
103284La photolithographie de résines épaisses
N.FABRE, V.CONEDERA
TEAM
Ouvrage (contribution) : Techniques de fabrication des microsystèmes 2. Systèmes microélectromécaniques 3D et intégration de matériaux actionneurs, Traité EGEM Electronique, Génie électrique, Microsystèmes, Hermes Science, N°ISBN 2-7462-0818-0, 2004, Chapitre 1, pp.17-38 , N° 04011
Non diffusable
103022Les techniques de photolithographie
N.FABRE, V.CONEDERA
TEAM
Ouvrage (contribution) : Techniques de fabrication des microsystèmes 1. Structures et microsystèmes électromécaniques en couches minces, Traité EGEM Electronique, Génie électrique, Microsystèmes, Hermes Science, N°ISBN 2-7462-0817-2, 2004, Chapitre 2, pp.39-67 , N° 04012
Non diffusable
103021Fabrication of integrated inductors on silicon for fully integrated DC-DC microconverters
G.TROUSSIER, J.P.LAUR, J.L.SANCHEZ, D.BOURRIER, V.CONEDERA, M.DILHAN, N.FABRE, Y.LEMBEYE, H.MOREL, B.COGITORE
CIP, TEAM, LEG, CEGELY, MICROSPIRE
Manifestation avec acte : SPIE International Symposium on Micromachining and Microfabrication Process Technology IX, San Jose (USA), 24-29 Janvier 2004, pp.86-93 , N° 04528
Diffusable
103563Micro-deformable mirror for next generation adaptive optical systems
F.ZAMKOTSIAN, H.CAMON, N.FABRE, V.CONEDERA, G.MOREAUX
LA Marseille, MIS, TEAM
Manifestation avec acte : Conference on Adaptive Optical System Technologies II, Waikoloa (USA), 22-28 Août 2002, 10p. , N° 02463
Diffusable
100122MOEMS devices for future astronomical instrumentation
F.ZAMKOTSIAN, K.DOHLEN, P.LANZONI, G.MOREAUX, H.CAMON, N.FABRE, V.CONEDERA
MIS, TEAM, LA Marseille
Manifestation avec acte : Semaine de l'Astrophysique Française (SF2A'2002), Paris (France), 24-29 Juin 2002, pp.237-240 , N° 02573
Diffusable
100343Les matériaux élaborés par sol gel et leur utilisation en micro technologies
V.CONEDERA, N.FABRE, H.CAMON
TEAM, MIS
Rapport LAAS N°02217, Mai 2002, 36p.
Diffusable
52088Tête d'injection et de dosage thermique, son procédé de fabrication et système de fonctionnalisation ou d'adressage la comprenant
A.M.GUE, D.ESTEVE, V.CONEDERA, N.FABRE
MIS, TEAM
Brevet : Brevet CNRS FR2811588, WO0205946, 2002, 31p. , N° 00514
Diffusable
101848Techniques de base de microfabrication des microsystèmes. Lithographie
N.FABRE, V.CONEDERA
TEAM
Rapport LAAS N°00482, Novembre 2000, 62p.
Diffusable
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