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12431
16/09/2012
Development of soft UV-nanoimprint lithography for GaAs nanotructures
H.MAKHLOUFI, E.DARAN, C.FONTAINE
PH, TEAM
Manifestation avec acte : International Conference on Micro and Nano Engineering (MNE 2012), Toulouse (France), 16-20 Septembre 2012, 1p. , N° 12431
Diffusable
128203 12267
18/06/2012
Mise au point de la lithographie douce par nano-impression assistée par rayonnement ultra-violet sur SiO2/GaAs à partir d'un moule souple de polymère
H.MAKHLOUFI, E.DARAN, C.FONTAINE
PH, TEAM
Manifestation sans acte : Journées Nationales du Réseau Doctoral en Microélectronique (JNRDM 2012), Marseille (France), 18-20 Juin 2012, 3p. , N° 12267
Diffusable
127467 12235
29/04/2012
Development of UV-nanoimprint lithography for GaAs nanostructures using soft mold
H.MAKHLOUFI, E.DARAN, C.FONTAINE
PH, TEAM
Manifestation avec acte : Epitaxy and Structural Analysis of III-V-N-Semiconductor Nanostructures, Heraklion (Grèce), 29 Avril - 2 Mai 2012, 2p. , N° 12235
Diffusable
127187