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Supercondensateurs de haute densité d'énergie à base de films denses de CDC
P.L.TABERNA, P.SIMON, C.LARGEOT, J.CHMIOLA, Y.GOGOTSI, D.PECH, M.BRUNET
CIRIMAT, Drexel Univ., ISGE
Manifestation sans acte : Journées SEEDS, Toulouse (France), 3-4 Juin 2010, 2p. , N° 10954
Diffusable
126071Autonomous sensing microsystem
C.ROSSI, J.M.DILHAC, M.BRUNET, M.BAFLEUR, H.DUROU, A.RAMOND, D.PECH, L.ASSOUERE
N2IS, ISGE
Rapport de Contrat : Rapport final projet FRAE AUTOSENS, Mars 2010, 44p. , N° 10248
Diffusion restreinte
1212613D Heterogeneous Functional Integration an Alternative Way to Develop New Power Integrated Functions
J.L.SANCHEZ, A.BOURENNANE, M.BREIL, P.AUSTIN, M.BRUNET, J.P.LAUR
ISGE
Manifestation avec acte : XV International Workshop on the Physics of Semiconductor Devices (IWPSD 2009), New Delhi (Inde), 15-19 Décembre 2009, pp.159-171 , N° 09797
Diffusable
120102Elaboration et intégration de micro-supercondensateurs pour le stockage de l'énergie embarquée
D.PECH, H.DUROU, P.HUANG, M.BRUNET, P.L.TABERNA, P.SIMON, N.FABRE, F.MESNILGRENTE, V.CONEDERA
ISGE, N2IS, CIRIMAT, TEAM
Conférence invitée : Journées Nationales du GDR Micro et Nano Systèmes (GDR MNS), Besançon (France), 18-20 Novembre 2009, 12p. , N° 09949
Diffusable
125864Carbide-derived carbon for thin film supercapacitors
M.HEON, Y.GOGOTSI, J.HETTINGER, M.BRUNET, D.PECH, P.L.TABERNA, P.SIMON
Drexel Univ., Rowan Univ., ISGE, CIRIMAT
Manifestation avec acte : MRS Fall Meeting, Novembre 2009, 1p. (Résumé) , N° 09840
Diffusable
121654ZrO2 Thin Films Grown On 2D and 3D Silicon Surfaces By DLI-MOCVD For Electronic Devices
K.GALICKA-FAU, M.ANDRIEUX, C.LEGROS, I.GALLET, M.BRUNET, E.SCHEID, S.SCHAMM
LEMHE-CNRS, ISGE, M2D, CEMES/CNRS
Manifestation avec acte : EuroCVD-17, Vienne (Autriche), 4-9 Octobre 2009, 8p. , N° 09611
Diffusable
123461Characterization of ZrO2 thin films deposited by MOCVD for high-density 3D capacitors
M.BRUNET, E.SCHEID, K.GALICKA-FAU, M.ANDRIEUX, C.LEGROS, I.GALLET, M.HERBST, S.SCHAMM
ISGE, M2D, LEMHE-CNRS, CEMES/CNRS
Revue Scientifique : Microelectronic Engineering, Vol.86, N°10, pp.2034-2037, Octobre 2009 , N° 08631
Diffusable
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Abstract
This work deals with high-density integrated capacitors for output filters in future micro DCDC converters. To reach high capacitance density, 3D structures were created in silicon with DRIE followed by MOCVD of ZrO2 (100 nm thick). The step coverage revealed two deposition regimes: a surface reaction controlled regime for cavities aspect ratio lower than 2 and a diffusion-controlled regime for higher aspect ratios. The ZrO2 films present mostly a cubic/tetragonal structure. The permittivity extracted from the measurement is 26.4. These results are discussed with static dielectric responses calculated in literature.
Mots-Clés / Keywords
ZrO2; MOCVD; High-k; Thin films; Step coverage; 3D stuctures; MIS capacitor;
650 NF/MM2 3D Capacitors Integrated in Silicon Based on NanoLithography and Electrochemical Etching
M.BRUNET, P.KLEIMANN, E.DARAN, F.CARCENAC, L.JALABERT, P.DUBREUIL
ISGE, INL, TEAM
Manifestation avec acte : 20th MicroMechanics europe Workshop (MME 2009), Toulouse (France), 20-22 Septembre 2009, 4p. , N° 09825
Non diffusable
120231Design and realization of highly integrated isolated DC/DC micro-converter
O.DELEAGE, J.C.CREBIER, M.BRUNET, Y.LEMBEYE, H.TRAN MANH
LEG, ISGE
Manifestation avec acte : Energy Conversion Congress and Exposition, San Jose (USA), 20-24 Septembre 2009, pp.3690-3697 , N° 09845
Diffusable
123465Elaboration of a microstructured inkjet-printed carbon electrochemical capacitor
D.PECH, M.BRUNET, P.L.TABERNA, P.SIMON, N.FABRE, F.MESNILGRENTE, V.CONEDERA, H.DUROU
ISGE, CIRIMAT, TEAM, N2IS
Revue Scientifique : Journal of Power Sources, Vol.195, N°4, pp.1266-1269, 6 Septembre 2009 , N° 09320
Diffusable
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