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07102
01/02/2007
Adaptation d'une machine de pulvérisation cathodique à des dépôts d'ITO
L.SALVAGNAC, S.PINAUD
TEAM
Rapport LAAS N°07102, Février 2007, 23p.
Diffusion restreinte
109472 06225
04/04/2006
Etude et amélioration de l'injection électrique dans les VCSELs de grand diamètre
E.HAVARD, T.CAMPS, V.BARDINAL, M.CONDE, C.AMAT, G.ALMUNEAU, L.SALVAGNAC, S.PINAUD, C.FONTAINE
PH, TEAM
Manifestations avec acte à diffusion limitée : 11èmes Journées Nano-Micro Electronique et Optoélectronique (JNMO), Aussois (France), 4-7 Avril 2006, 2p. , N° 06225
Diffusable
106641 04677
01/12/2004
Gravue de motifs nanométriques dans un multicouche GaAs/GaAlAs par ICP-RIE. Optimisation des paramètres du procédé
L.BOUSCAYROL, F.CARCENAC, P.DUBREUIL, L.JALABERT, S.PINAUD, L.SALVAGNAC
TEAM
Rapport LAAS N°04677, Décembre 2004, 46p.
Diffusion restreinte
103035 04676
01/10/2004
Gravure du GaAs massif par ICP-RIE. Optimisation des paramètres du procédé
L.BOUSCAYROL, P.DUBREUIL, L.JALABERT, S.PINAUD, L.SALVAGNAC
TEAM
Rapport LAAS N°04676, Octobre 2004, 36p.
Diffusion restreinte
103034