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04676
01/10/2004
Gravure du GaAs massif par ICP-RIE. Optimisation des paramètres du procédé
L.BOUSCAYROL, P.DUBREUIL, L.JALABERT, S.PINAUD, L.SALVAGNAC
TEAM
Rapport LAAS N°04676, Octobre 2004, 36p.
Diffusion restreinte
103034 04006
01/01/2004
Etude des matériaux LPCVD issus de la filière silicium
P.TEMPLE BOYER, L.BOUSCAYROL, P.FADEL, B.ROUSSET
TMN, TEAM
Rapport LAAS N°04006, Janvier 2004, 87p.
Diffusable
101724