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Final capping passivation layers for long-life microsensors in real fluids
E.VANHOVE, L.BOUSCAYROL, J.LAUNAY, P.TEMPLE BOYER
MICA, TEAM
Rapport LAAS N°12480, Septembre 2012, 10p.
Non diffusable
128021AlOx/GaAs high contrast grating mirrors for mid infrared VCSELs
Y.LAAROUSSI, O.GAUTHIER-LAFAYE, L.BOUSCAYROL, C.FONTAINE, L.CERUTTI, T.TALIERCIO, C.CHEVALLIER, F.GENTIL, N.FRESSENGEAS, G.ALMUNEAU
PH, TEAM, IES, Université de Montpe, Supélec, Metz
Manifestation avec acte : International Conference on Transparent Optical Networks (ICTON 2012), Coventry (UK), 2-5 Juillet 2012, 3p. , N° 12382
Diffusable
127726Long-life insulating layers for integrated microelectrodes
E.VANHOVE, L.BOUSCAYROL, R.NAVAL, A.GERARD, M.ZOUARI, V.CONEDERA, J.LAUNAY, P.TEMPLE BOYER
MICA, TEAM
Manifestation avec acte : Spring Meeting of the International Society of Electrochemistry, Perth (Australie), 15-18 Avril 2012, 1p. , N° 12005
Diffusable
127239Development of polysilicon devices for microfluidic thermal instrumentation
T.CAMPS, J.TASSELLI, J.LUBIN, D.LAGRANGE, L.BOUSCAYROL, A.MARTY
N2IS, ISGE, 2I, TEAM
Rapport LAAS N°12153, http://dx.doi.org/10.1016/j.sna.2012.10.004, Mars 2012, 11p.
Diffusable
126875Mise au point de technique de "bonding" de membranes silicium sur substrat SOI pour la réalisation de MEMS métrologique
H.CAMON, F.BLARD, S.CHARLOT, D.BELHARET, L.BOUSCAYROL, L.MAZENQ
N2IS, TEAM
Rapport de Contrat : Rapport de la convention LAAS/LNE, Juin 2011, 37p. , N° 11370
Diffusion restreinte
124969Nano-crystallized tetragonal metastable ZrO2 thin films deposited by MOCVD for 3D capacitors
M.BRUNET, H.MAHFOZ-KOTB, L.BOUSCAYROL, E.SCHEID, M.ANDRIEUX, C.LEGROS, S.SCHAMM
ISGE, Assiut University, TEAM, M2D, LEMHE-CNRS, CEMES/CNRS
Revue Scientifique : Thin Solid Films, Vol.519, N°16, pp.5638-5644, Juin 2011 , N° 10555
Diffusable
124709Filtres spectraux de nouvelle génération très sélectifs en longueur d'onde travaillant dans le proche infrarouge
K.CHAN SHIN YU, P.ARGUEL, S.BONNEFONT, O.GAUTHIER-LAFAYE, F.LOZES-DUPUY, A.MONMAYRANT, A.BOUCHIER, L.BOUSCAYROL, B.ROUSSET, L.MAZENQ, V.CONEDERA, D.BELHARET, P.F.CALMON
2I, PH, TEAM
Rapport de Contrat : Rapport d'avancement contrat CNES N° 92629/00, Lot N°2-Evt N°2, Avril 2011, 14p. , N° 11215
Non diffusable
124532Kelvin Probe Microscopy for Dielectric Charging Assessment in silicon Nitride Films for MEMS Switches
U.ZAGHLOUL HEIBA, A.BELARNI, F.COCCETTI, G.J.PAPAIOANNOU, L.BOUSCAYROL, P.PONS, R.PLANA
MINC, 2I, Athenes, TEAM
Manifestation avec acte : 20th MicroMechanics Europe workshop (MME 2009), Toulouse (France), 20-22 Septembre 2009 , N° 09612
Diffusable
119561A comprehensive study for dielectric charging process in silicon nitride films for RF MEMS switches using Kelvin Probe Microscopy
U.ZAGHLOUL HEIBA, A.BELARNI, F.COCCETTI, G.J.PAPAIOANNOU, L.BOUSCAYROL, P.PONS, R.PLANA
2I, Athenes, TEAM, MINC
Manifestation avec acte : The 15th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2009), Denver (USA), 21-25 Juin 2009, 5p. , N° 09518
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Mots-Clés / Keywords
Dielectric charging; Silicon nitride; MEMS switches;
Potentialities of glass wafers for thermal sensors and actuators development
B.MARTY, T.CAMPS, J.TASSELLI, A.MARTY, L.BOUSCAYROL, J.C.MARROT
N2IS, TEAM
Manifestation avec acte : 1st European Conference on Microfluidics (MicroFlu'08), Bologne (Italie), 10-12 Décembre 2008, 7p. , N° 08515
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Mots-Clés / Keywords
Polysilicon diodes; Surface micro-machining; Glass technology;