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A simplified process for high-resolution UV-NIL templates fabrication
L.JALABERT, E.DARAN, J.B.DOUCET, F.CARCENAC, P.SALLES, G.BENASSAYAG, P.DUBREUIL, O.BOUCHARD, S.HERNANDEZ, J.NAVARRO
CEMES/CNRS, TEAM, PH, LAPLACE
Manifestation avec acte : Nanoprint Nanoimprint 2007 (NNT 2007), Paris (France), 10-12 Octobre 2007, 2p. , N° 07492
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113000Functionalized SU8 layers for manipulating bio-chemical species in microfluidic networks
G.TEYSSIER, A.BOUKABACHE, A.M.GUE, J.B.DOUCET
MIS, M2D, TEAM
Manifestation avec acte : 1st French-Chinese Symposium on Microfluidics, Beijing (Chine), 29 Octobre - 2 novembre 2007, 2p. , N° 07371
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Mots-Clés / Keywords
SU-8; Functionalisation; Contact angle; Chemical treatment; Plasma O2;
Chemical sensors passivating method based on benzocyclobutene layer using spin coating and photolithography techniques
J.LAUNAY, J.B.DOUCET, B.TORBIERO, M.L.POURCIEL, P.TEMPLE BOYER
TEAM, M2D
Manifestation avec acte : EUROanalysis XIV, Antwerp (Belgique), 9-14 Septembre 2007, 1p. , N° 07769
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112676Self-aligned polymer microlenses fabrication for VCSEL beam shaping
C.LEVALLOIS, T.LEICHLE, V.BARDINAL, T.CAMPS, J.B.DOUCET, E.DARAN, C.VERGNENEGRE
PH, NANO, MIS, TEAM, 2I
Manifestation avec acte : Optical Microsystems (OMS'07), Capri (Italie), 30 Septembre - 3 Octobre 2007, 1p. , N° 07463
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112114Conception et réalisation de microlentilles en polymère auto-alignées pour la mise en forme du faisceau laser des VCELs
C.LEVALLOIS, T.LEICHLE, V.BARDINAL, T.CAMPS, J.B.DOUCET, E.DARAN, C.VERGNENEGRE
NANO, TEAM, 2I, PH
Manifestation avec acte : Optique. Horizons de l'Optique, Grenoble (France), 2-5 Juillet 2007, pp.173-174 , N° 07203
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Résumé
Cette étude vise à intégrer des microlentilles sur la surface de VCSELs afin de contrôler leur divergence. Nous présentons une technique originale basée sur l'utilisation de micro-leviers en silicium robotisés pour déposer des microlentilles en polymère sur des piedestaux de résine épaisse(SU-8) définis par photolithographie. Les caractérisations des microlentilles par MEB(Microscopie Electronique à Balayage) et profilométrie optique ont permis d'évaluer l'influence des dimensions du piédestal sur la forme finale de la microlentille. L'auto-alignement des microlentilles avec des piédestaux à géométrie circulaire est également démontré.
Amélioration de l'uniformité d'injection électrique dans les VCSELs de grande dimension
E.HAVARD, V.BARDINAL, T.CAMPS, G.ALMUNEAU, J.B.DOUCET, L.SALVAGNAC, C.FONTAINE
PH, N2IS, TEAM
Manifestation avec acte : Optique. Horizons de l'Optique, Grenoble (France), 2-5 Juillet 2007, pp.153-154 , N° 07419
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Résumé
Nous étudions l'amélioration des propriétés électriques des VCSELs (Vertical Cavity Surface Emitting Laser) de grande dimension (100um) à injection metallique annulaire pour application à la génération de puissance et pour la manipulation de solitons de cavité. Une simulation électrique nous a permis de quantifier l'amélioration de l'uniformité d'injection des porteurs apportée par les solutions technologiques que nous proposons de réaliser: l'adjonction d'une couche conductrice d'ITO à la surface du miroir supérieur du laser est ici évaluée.
Free engineering of burried oxide patterns in GaAs/AlAs epitaxial structures
C.AMAT, G.ALMUNEAU, P.GALLO, L.JALABERT, S.MOUMDJI, P.DUBREUIL, T.CAMPS, J.B.DOUCET, E.HAVARD, V.BARDINAL, C.FONTAINE, A.MUNOZ YAGUE
PH, TEAM
Revue Scientifique : Electronics Letters, Vol.43, N°13, pp.730-732, Juin 2007 , N° 07272
Diffusion restreinte
110605Fabrication and characterization of microlens arrays using a cantilever-based spotter
V.BARDINAL, E.DARAN, T.LEICHLE, C.VERGNENEGRE, C.LEVALLOIS, T.CAMPS, V.CONEDERA, J.B.DOUCET, F.CARCENAC, H.OTTEVAERE, H.THIENPONT
PH, NANO, 2I, N2IS, TEAM, Bruxelles
Revue Scientifique : Optics Express, Vol.15, N°11, pp.6900-6907, Mai 2007 , N° 07121
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110406Etude de couches sacrificielles polymères pour la réalisation de MEMS
V.CONEDERA, L.SALVAGNAC, J.C.MARROT, S.PINAUD, L.MAZENQ, J.B.DOUCET, N.FABRE
TEAM
Rapport LAAS N°07190, Mars 2007, 24p.
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109940A planar technology for fabrication of localized areas of buried aluminum-based oxide in GaAs/AlAs epitaxial structures
C.AMAT, P.GALLO, S.MOUMDJI, G.ALMUNEAU, T.CAMPS, L.JALABERT, P.DUBREUIL, J.B.DOUCET, E.HAVARD, V.BARDINAL, C.FONTAINE, A.MUNOZ YAGUE
PH, TEAM
Rapport LAAS N°06614, Septembre 2006, 10p.
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