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Résumé

Dans le cadre du développement de nouveaux types de capteurs, léquipe de recherche Nano du laboratoire souhaite développer une électronique spécifique. Ces capteurs sont des peignes de microleviers piézorésistifs. Cest à dire que chaque levier comporte sur sa structure une piézorésistance permettant de mesurer sa propre déflexion. La longueur de ces leviers est dune centaine de micromètres. Les domaines dapplications sont entre autres : Lanalyse médicale, le positionnement et la microscopie. Développement Dans un cadre de mesure topographique de micro structures par exemple, lobjectif est de détecter des déflexions de levier de lordre du nanomètre, ce qui se traduit par une variation relative de la piézorésistance de lordre de 10-6. Au vu des dimensions et des niveaux électriques mis en jeu, létude du principe de détection et le développement dune électronique de proximité est effectué. Dans un deuxième temps, un système de commande déporté est développé afin dobtenir un ensemble complet validant la faisabilité et lutilisation de tels capteurs. Plusieurs modes de fonctionnement sont prévus : - Le mode statique se traduit par une modification relative de la résistance du levier. Cette variation relative est de lordre de: nm-1. - Le mode dynamique place le microlevier à sa fréquence de résonance au moyen d un actionneur piézoélectrique. Dans cette configuration, leffort se traduit par une modification des paramètres doscillation. Cette fréquence doscillation est de lordre du MHz. Lélectronique de proximité développée est appelée à être réduite en taille grâce à la technologie hybride.

Mots-Clés / Keywords

Microlevier piézorésistif; Electronique rapprochée; Mesure différentielle de résistance; MEMS; Electronic noise; Bruit électronique; Piesoresistive cantillevers; System born electronic; Differential resistor measurement;