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Matrice de microejecteurs adressables pour la fonctionnalisation des biopuces
A.M.GUE, D.ESTEVE, F.MATHIEU, J.B.POURCIEL, M.DUMONTEUIL, J.VERRIES
2I, ISI, MIS
Rapport de Contrat : OSEO N° A0510007, Mars 2008, 60p. , N° 08067
Diffusion restreinte
113160Contact force control of piezoresistive cantilevers with in-plane nanotips for femtoliter droplet deposition
D.SAYA, T.LEICHLE, J.B.POURCIEL, F.MATHIEU, C.BERGAUD , L.NICU
2I, NBS
Manifestation avec acte : 33rd International Conference on Micro and Nano Engineering (MNE2007), Copenhague (Danemark), 23-26 Septembre 2007, 2p. , N° 07440
Diffusable
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Abstract
For the purpose of biochip miniaturization, we developed a liquid spotter-based on silicon microcantilevers incorporating in-plane nanotips as a MEMS nanopatterning tool. We present new fabricated cantilevers with added piezoresistors for the contact force control during deposition. Matrices of droplets of 1 ¼m in diameter were achieved with a 10 ¼m interspot distance with high uniformity and high reproducibility by the nanotip cantilever with piezoresistive force controller.
Mots-Clés / Keywords
Piezoresistive cantilever; Silicon nanotip; Femtoliter droplet; Biochips;
Parallel detection of Si-based microcantilevers resonant frequencies using piezoresistive signals downmixing scheme
F.MATHIEU, D.SAYA, C.BERGAUD, L.NICU
2I, NANO
Revue Scientifique : IEEE Sensors Journal, Vol.7, N°2, pp.172-178, Février 2007 , N° 06203
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109200Liquid loading of silicon-based cantilevers using electrowetting actuation for microspotting applications
T.LEICHLE, D.SAYA, P.BELAUBRE, J.B.POURCIEL, F.MATHIEU, J.P.LAUR, L.NICU, C.BERGAUD
NANO, 2I, CIP, CNRS-IIS
Revue Scientifique : Sensors and Actuators A: Physical, Vol.132, N°2, pp.590-596, Novembre 2006 , N° 05027
Diffusable
109327Integrated deflection scheme and distance monitoring for bioplume
J.B.POURCIEL, F.MATHIEU, T.LEICHLE, D.SAYA, C.BERGAUD, L.NICU
2I, NANO
Rapport LAAS N°06823, Mars 2006, 16p.
Diffusable
108658A closed-loop MEMS-based spotter integrating position sensors with nanometric precision for the control of droplets uniformity
T.LEICHLE, D.SAYA, J.B.POURCIEL, F.MATHIEU, C.BERGAUD, L.NICU
NANO, 2I
Manifestation avec acte : 1st IEEE International Conference of Nano/Micro Engineering and Molecular Systems (IEEE-NEMS'2006), Zhuhai (Chine), 18-21 Janvier 2006, 2p. , N° 06183
Diffusable
106333Piezoresistive signal downmixing for parallel detection of Si-based microcantilevers resonant frequencies
F.MATHIEU, D.SAYA, C.BERGAUD, L.NICU
2I, NANO, CNRS-IIS
Manifestation avec acte : IEEE of Sensors 2005, Irvine (USA), 31 Octobre - 3 Novembre 2005, 2p. , N° 05338
Diffusable
105230Si-Piezoresistive microcantilevers for highly integrated parallel force detection applications
D.SAYA, P.BELAUBRE, F.MATHIEU, D.LAGRANGE, C.BERGAUD
NANO, 2I
Revue Scientifique : Sensors and Actuators A: physical, Vol.123-124, pp.23-29, Septembre 2005 , N° 04252
Diffusable
110320Adressage de matrice à micro-éjecteurs
C.CANTELE, D.LAGRANGE, F.MATHIEU
2I
Rapport LAAS N°05335, Juillet 2005, 34p.
Diffusion restreinte
103867First step towards a fully automated trim control for liquid deposition device at the microscale using piezoresistive cantilevers array
P.BELAUBRE, J.B.POURCIEL, D.SAYA, T.LEICHLE, F.MATHIEU, L.NICU, C.BERGAUD
CNRS-IIS, NANO, 2I
Manifestation avec acte : 13th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (TRANSDUCERS'05), Seoul (Corée), 5-9 Juin 2005, pp.648-651 , N° 04718
Diffusable
104630