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Engineering strained silicon on insulator wafers with the smart CutTM technology
B.GHYSELEN, T.ERNST, J.M.HARTMANN, C.AULNETTE, B.OSTERNAUD, Y.BOGUMILOWICZ, A.ABBADIE, P.BESSON, A.TIBERJ, N.DAVAL, I.CAYREFOURQ, F.FOURNEL, H.MORICEAU, C.DI NARDO, F.ANDRIEU, V.PAILLARD, M.CABIE, L.VINCENT, E.SNOECK, F.CRISTIANO, A.ROCHER, A.PONCHET, A.CLAVERIE, P.BOUCAUD, M.N.SEMERIA, D.BENSAHEL, N.KERNEVEZ, C.MAZURE
CEA, ST Microelectronics, LPS, CEMES/CNRS, TMN, IEF, SOITEC
Revue Scientifique : Solid-State Electronics, Vol.48, N°8, pp.1285-1296, Août 2004 , N° 04040
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108870Solid phase epitaxy. Activation and deactivation of boron in ultra-shallow junctions
W.LERCH, S.PAUL, J.NIESS, F.CRISTIANO, Y.LAMRANI, P.CALVO, N.CHERKASHIN, D.F.DOWNEY, E.A.AREVALO
Mattson, TMN, CEMES/CNRS, Varian
Conférence invitée : 205th Meeting of the Electrochemical Society, San Antonio (USA), 9-14 Mai 2004, 17p. , N° 04042
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102247Current understanding and modeling of B diffusion and activation anomalies in preamorphized ultra-shallow junctions
B.COLOMBEAU, A.J.SMITH, N.E.B.COWERN, B.PAWLAK, F.CRISTIANO, R.DUFFY, A.CLAVERIE, C.J.ORTIZ, P.PICHLER, E.LAMPIN, C.ZECHNER
Surrey, Philips Leuven, TMN, CEMES/CNRS, Fraunhofer Erlangen, IEMN Villeneuve, ISE Zurich
Manifestation avec acte : 2004 MRS Spring Meeting, San Francisco (USA), 12-16 Avril 2004, 12p. , N° 04791
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104882On the "life" of (113) defects
N.CHERKASHIN, P.CALVO, F.CRISTIANO, B.DE MAUDUIT, A.CLAVERIE
TMN, CEMES/CNRS
Manifestation avec acte : 2004 MRS Spring Meeting, San Francisco (USA), 12-16 Avril 2004, 6p. , N° 04790
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104880Activation, diffusion and defect analysis of a spike anneal thermal cycle
S.PAUL, W.LERCH, X.HEBRAS, N.CHERKASHIN, F.CRISTIANO
Mattson, TMN, CEMES/CNRS
Manifestation avec acte : 2004 MRS Spring Meeting, San Francisco (USA), 12-16 Avril 2004, 7p. , N° 04789
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104878Solid phase epitaxy process integration on 50-nm PMOS devices: effects of defects on chemical and electrical characteristics of ultra shallow junctions
R.EL FARHANE, C.LAVIRON, F.CRISTIANO, N.CHERKASHIN, R.MORIN, P.JUHEL, P.STOLK, F.ARNAUD, A.POUYDEBASQUE, F.WACQUANT, D.LENOBLE, A.HALIMAOUI
Philips Crolles, CEA, TMN, CEMES/CNRS, LIF, RIA, ST Microelectronics
Manifestation avec acte : 2004 MRS Spring Meeting, San Francisco (USA), 12-16 Avril 2004, 6p. , N° 04792
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104884Strain characterization of strained silicon on insulator wafers
V.PAILLARD, B.GHYSELEN, C.AULNETTE, B.OSTERNAUD, N.DAVAL, F.FOURNEL, H.MORICEAU, T.ERNST, J.M.HARTMANN, C.LAGAHE-BLANCHARD, S.POCAS, P.LEDUC, L.VINCENT, F.CRISTIANO, Y.CAMPIDELLI, O.KERMARREC, P.BESSON, Y.MORAND
LPS, SOITEC, CEA, CEMES/CNRS, TMN, ST Microelectronics
Revue Scientifique : Microelectronic Engineering, Vol.72, N°1-4, pp.367-373, Avril 2004 , N° 04047
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108868Evidence on the mechanism of boron deactivation in Ge-preamorphized ultrashallow junctions
B.PAWLAK, R.SURDEANU, B.COLOMBEAU, A.J.SMITH, N.E.B.COWERN, R.LINDSAY, W.VANDERVORST, B.BRIJS, O.RICHARD, F.CRISTIANO
Philips Leuven, Surrey, IMEC, TMN
Revue Scientifique : Applied Physics Letters, Vol.84, N°12, pp.2055-2057, 22 Mars 2004 , N° 04039
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108869Reduced pressure chemical vapour deposition of SiGe virtual substrates for high mobility devices
J.M.HARTMANN, Y.BOGUMILOWICZ, P.HOLLIGER, F.LAUGIER, R.TRUCHE, G.ROLLAND, M.N.SEMERIA, V.RENARD, E.B.OLSHANETSKY, O.ESTIBALS, Z.D.KVON, J.C.PORTAL, L.VINCENT, F.CRISTIANO, A.CLAVERIE
CEA, INSAT, GHMFL, CEMES/CNRS, TMN
Revue Scientifique : Semiconductor Science and Technology, Vol.19, N°3, pp.311-318, Mars 2004 , N° 04048
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101787Coupling of atom-by-atom calculations of extended defects with B kick-out equations: application to the simulation of boron TED
E.LAMPIN, F.CRISTIANO, Y.LAMRANI, B.COLOMBEAU
IEMN Villeneuve, TMN, Surrey
Revue Scientifique : Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B, Vol.B 216, pp.95-99, 2004 , N° 04041
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