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Fully integrated microsystem using microfluidic devices to tune or reconfigure RF circuits

S.PINON, D.L.DIEUDHOU, A.M.GUE, N.FABRE, G.PRIGENT, V.CONEDERA, E.RIUS, C.QUENDO, B.POTELON, J.F.FEVENNEC, A.BOUKABACHE

N2IS, LAB-STICC, Brest, TEAM, INP ENSEEIHT

Manifestation avec acte : Micromechanics and Micro systems Europe Workshop (MME 2011), Tonsberg (Norvège), 20-22 Juin 2011, 4p. , N° 11366

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Mise au point de technique de "bonding" de membranes silicium sur substrat SOI pour la réalisation de MEMS métrologique

H.CAMON, F.BLARD, S.CHARLOT, D.BELHARET, L.BOUSCAYROL, L.MAZENQ

N2IS, TEAM

Rapport de Contrat : Rapport de la convention LAAS/LNE, Juin 2011, 37p. , N° 11370

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BPN a new thick negative photoresist with high aspect ratio for MEMS applications

D.BOURRIER, M.DILHAN, A.GHANNAM, L.OURAK, H.GRANIER

TEAM, MOST

Manifestation avec acte : Conference on High Aspect Ratio Micro Structure Technology (HARMST 2012), Hsinchu (Japon), 13-17 Juin 2011, 7p. , N° 11857

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New developments in inkjet of deposits carried out under localized extraction or helium

V.CONEDERA, F.MESNILGRENTE, P.FADEL, N.FABRE

TEAM

Manifestation avec acte : TechConnect World 2011. Microtech 2011, Boston (USA), 13-16 Juin 2011, pp.554-557 , N° 11332

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Effect of non-ideal clamping shape on the resonance frequencies of silicon nanocantilevers

S.GUILLON, D.SAYA, L.MAZENQ, S.PERISANU, P.VINCENT, A.LAZARUS, O.THOMAS, L.NICU

NBS, TEAM, LPMCN, Lyon, LMSSC, CNAM

Revue Scientifique : Nanotechnology, Vol.22, N°24, 245501p., Juin 2011 , N° 11218

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Nano-crystallized tetragonal metastable ZrO2 thin films deposited by MOCVD for 3D capacitors

M.BRUNET, H.MAHFOZ-KOTB, L.BOUSCAYROL, E.SCHEID, M.ANDRIEUX, C.LEGROS, S.SCHAMM

ISGE, Assiut University, TEAM, M2D, LEMHE-CNRS, CEMES/CNRS

Revue Scientifique : Thin Solid Films, Vol.519, N°16, pp.5638-5644, Juin 2011 , N° 10555

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High temperature wafer bonding technique for the realization of a voltage and current bidirectional IGBT

A.BOURENNANE, H.TAHIR, J.L.SANCHEZ, E.IMBERNON, G.SARRABAYROUSE

ISGE, TEAM, M2D

Manifestation avec acte : International Symposium on Power Semiconductor Devices & ICs (ISPSD 2011), San Diego (USA), 23-26 Mai 2011, pp.140-143 , N° 11054

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Polymer MEMS for the active control of VCSEL beam

B.REIG, T.CAMPS, V.BARDINAL, D.BARAT, E.DARAN, J.B.DOUCET

PH, N2IS, TEAM

Manifestation avec acte : Conference on Lasers and Electro-Optics Europe (CLEO 2011), Munich (Allemagne), 22-26 Mai 2011, 1p. , N° 11290

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Advances in buried oxide confinement engineering in AlxGa1-xAs/GaAs epitaxial structures

F.CHOUCHANE, J.B.DOUCET, A.ARNOULT, G.LACOSTE, C.FONTAINE, G.ALMUNEAU

PH, TEAM

Manifestation avec acte : International Symposium on Compound Semiconductors, Compound Semiconductor Week (CSW 2011), Berlin (Allemagne), 22-26 Mai 2011, 2p. , N° 11179

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Wet thermal oxidation of AlAsSb for lateral confinement in GaSb-based VCSELs

Y.LAAROUSSI, L.CERUTTI, I.SUAREZ-ALVAREZ, J.B.DOUCET, P.FADEL, G.ALMUNEAU

IES, TEAM, PH

Manifestation avec acte : International Symposium on Compound Semiconductors, Compound Semiconductor Week (CSW 2011), Berlin (Allemagne), 22-26 Mai 2011, 2p. , N° 11178

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