Personnel

• Alexandre ARNOULT (IR - responsable de la zone)
• Guy LACOSTE (IE)

Zone Epitaxie par Jets Moléculaires

La zone Epitaxie par Jets Moléculaires regroupe les moyens d'élaboration de matériaux III/V à base de GaAs.
Les deux bâtis d'épitaxie par jets moléculaires, connectés par ultra-vide, ainsi que les moyens de caractérisation dédiés, sont intégrés à la salle blanche du LAAS (classe 10000 - ISO7).

Moyens d'élaboration
Bâti RIBER 2300 Cellules d'effusion : Ga, In, Al 2xAs cellule plasma H RHEED 20kV Spectromètre de masse Pompe ionique Pompe turbo
Bâti RIBER 32P Cellules d'effusion : Ga, In, 2xAl As (cracker) Si, Be cellule plasma N RHEED 10kV Spectromètre de masse Réflectométrie dynamique accordable Pyromètre basses températures Pompe ionique Pompe cryogénique
Bâti RIBER MBE 412 (nouvel équipement 2012) Cellules d'effusion : 2xGa, 2xAl, 2xIn 2x(As) cracker Sb, Si, C (CBr4) cellule plasma N à vanne RHEED 12kV + KSA400 Pyromètre KSA BandiT Spectromètre de masse Pompe ionique Pompe cryogénique Robot cluster : Module de chargement/déchargement Module de park Module de dégazage haute température

Moyens de caractérisation dédiés
Auger Riber sous UHV
				Banc de photoluminescence à température ambiante

Diffractomètre X haute résolution BRUKER D8 Discover (Da Vinci design)

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