En réponse à l'élargissement des champs d'application, les travaux sur les VCSELs s'orientent vers une plus grande capacité d'intégration, ainsi que vers une diversification des fonctionnalités.
Dans ce cadre, nous concentrons nos efforts sur l'amélioration et la compréhension physique de l'oxydation thermique humide d'alliages AlGaAs. Ce procédé, dénommé AlOx, est aujourd'hui largement exploité pour fabriquer des VCSELs de hautes performances. Nous étudions notamment comment contrôler finement ce procédé et comment l'exploiter comme moyen de structuration bidimensionnelle de l'indice optique, et de l'injection électrique. La cinétique de cette oxydation est ainsi étudié en détails, notamment dans les pseudo-alliages.
De plus, une méthode originale de contrôle optique in-situ a été développé au laboratoire, ceci donnant accès à un contrôle très affiné des tailles de diaphragmes réalisant le confinement dans les VCSELs.
Enfin, un nouveau procédé dérivé de l'oxydation latérale a été mis au point, celui-ci consiste à appliquer l'oxydation d'une couche AlGaAs enterrée via la surface de l'échantillon, en basant simplement les dimensions des motifs sur la lithographie.