Equipe M2D

Responsable : Pierre Temple Boyer
Secrétaire : Brigitte Cyrille

Les activités du Groupe "Microdispositifs et microsystèmes de détection" (M2D) comportent deux volets principaux: la conception, la réalisation et l'optimisation de microdispositifs en technologies silicium et polymères pour des applications spéciales ou émergentes, ainsi que l'application de ces études au développement des microsystèmes de détection.

Le terme "microdispositif" sous-entend ici non seulement les microcomposants fondamentaux de la microélectronique et les microstructures de la micromécanique mais aussi les microsystèmes opto-électro-mécaniques, les micro-actionneurs, les microcapteurs et autres microsystèmes. Les microdispositifs étudiés dans le groupe M2D ont une caractéristique commune: ils sont réalisables par les techniques classiques de la microélectronique silicium (photolithographie, procédés de recuit thermique, procédés de dépôt, implantation, gravure physico-chimique, report, connectique,…) ainsi que par des techniques annexes compatibles avec ses spécifications (microlithographie, procédés de fonctionnalisation chimique, dépôt électrolytique, micro-usinage de surface et de volume, soudure anodique, encapsulation,…). Il s'en suit que leurs dimensions typiques vont du submicronique au millimétrique, qu'ils sont caractérisés par des structures planes bidimensionnelles ou tridimensionnelles, et qu'ils peuvent être fabriqués collectivement et à faible coût.

Le terme "microsystème de détection" sous-entend les microcapteurs, microdétecteurs et autres microtransducteurs. Le groupe M2D a choisi d'en faire son champ d'application propre. Il est ainsi impliqué dans la conception, la réalisation et l'optimisation de ces microsystèmes en vue de transfert industriel.