Séminaire de l'équipe NBS :

Résonateurs MEMS en silicium : des composants pour le traitement du signal aux sondes pour la microscopie à force atomique.

Le 18 Février 2013 à 10h30

Intervenant

Bernard LEGRAND
Chargé de Recherche
IEMN, groupe NAM6, Lille

E-mail : bernard.legrand@isen.iemn.univ-lille1.fr

Lieu

LAAS-CNRS - Salle Feynman

7 avenue du Colonel Roche

31077 TOULOUSE Cedex 4

Résumé

Depuis 2000, le groupe NAM6 de l'IEMN poursuit une activité de recherche dans le domaine des micro-résonateurs électromécaniques. Ces composants MEMS donnent accès dans le domaine électrique aux propriétés d'une résonance mécanique grâce à des transducteurs électromécaniques. Les applications concernent en premier lieu le traitement du signal, comme les filtres ou les références de fréquence, mais aussi le domaine des capteurs : capteurs inertiels, capteurs de masse et capteurs de force. En particulier, ils peuvent être utilisés comme sondes AFM, en exploitant des fréquences de résonance et des coefficients de qualité plus élevés que ceux des sondes AFM traditionnelles à base de leviers. La présentation se concentrera sur les récents développements des sondes MEMS pour l'AFM qui utilisent un anneau vibrant selon le mode elliptique dans la gamme de 10 à 20 MHz. L'intégration de ces capteurs de force dans un AFM commercial sera décrite ainsi que des résultats d'imagerie obtenus sur des échantillons d'origamis d'ADN. La résolution en force est de l'ordre de quelques picoNewtons.

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