Zone Caractérisation

Christina VILLENEUVE (IR-CDD) AFM, zone caractérisation
Monique DILHAN (IR) AFM
Véronique CONEDERA (IR) Profilomètres, confocal, énergie de surface
Franck CARCENAC (IR) MEB
Bernard ROUSSET (IR) Ellipsomètre, Résistivimètre
Pierre-François CALMON (IR) Métrologie lithographie laser
Emmanuelle DARAN (IR) AFM
Laurent MAZENQ (AI) MEB, Profilomètres, Microscopes optique
Fabien MESNILGRENTE (AI) Confocal, énergie de surface

Les moyens de caractérisation disponibles en salle blanche permettent l'étude et la validation des étapes technologiques de mise en forme des matériaux pour la réalisation des composants. Ces moyens sont en libre service après formation.
Les caractérisations des composants terminés sont effectuées au sein de la

plateforme de caractérisation .

Moyens de fabrication
AFM avec des modules de SCM, de SSRM, de CAFM et de TUNA
MEB Hitachi S4800 et MEBS3700N
Profilomètre mécanique KLA Tencor P10 P15 et P16+

Profilomètre optique Veeco
Ellipsomètre Horiba Jobin Yvon
Résistivimètres
Mesure d'angle de contact, d'énergie de surface ...
Métrologie du masqueur laser (en zone lithographie laser) Microscope confocal Microscopes optiques

Savoir Faire
Observations à toutes les échelles (microscopie optique, MEB, AFM), caractérisation physique de matériaux (ellipsomètre, analyse X sur le MEB), caractérisation topographique des composants (profilomètres optiques et tactiles), caractérisation de l'état de surface (goutte d'eau).
image AFM d'un cristal photonique	image AFM d'une membrane
image de topographie 3D réalisée sur le Profilomètre optique (MEMS-RF)