Zone Caractérisation

Personnel


Zone Caractérisation

Les moyens de caractérisation disponibles en salle blanche permettent l'étude et la validation des étapes technologiques de mise en forme des matériaux pour la réalisation des composants. Ces moyens sont en libre service après formation.
Les caractérisations des composants terminés sont effectuées au sein de la

plateforme de caractérisation.





Équipements



AFM avec des modules de SCM, de SSRM, de CAFM et de TUNA





Dual Beam (MEB + FIB) FEI Hélios 600i



MEB Hitachi S4800 et MEBS3700N


Profilomètre mécanique KLA Tencor P10
P15 et P16+




Profilomètre optique Veeco




Ellipsomètre Horiba Jobin Yvon




Résistivimètres



Mesure d'angle de contact, d'énergie de surface ...



Métrologie du masqueur laser
(en zone lithographie laser)








Microscope confocal











Microscopes optiques



DWL200




Savoir Faire

Observations à toutes les échelles (microscopie optique, MEB, AFM), caractérisation physique de matériaux (ellipsomètre, analyse X sur le MEB), caractérisation topographique des composants (profilomètres optiques et tactiles), caractérisation de l'état de surface (goutte d'eau).



image AFM d'un cristal photonique



image AFM d'une membrane

image de topographie 3D réalisée sur le Profilomètre optique (MEMS-RF)








Image de topographie (gauche) et de courant de fuite (droite) obtenue par TUNA sur un empilement vertical NiFe/PTCTE/Co (vanne de spin organique)