Zone Chimie

Personnel

Zone Chimie

La zone chimie regroupe des moyens faisant appel à des produits chimiques en phase liquide, la sécurité y joue donc un rôle primordial.

Elle comporte 14 postes de travail avec extraction d'air et équipés en alimentation d'eau désionisée, répartis sur 32 m2 en classe 100.

Elle réunit de la verrerie, des agitateurs, des agitateurs magnétiques chauffants ou non, des plaques chauffantes, des cuves à ultrasons, des bacs chauffants régulés et des centrifugeuses pour sécher les plaquettes. Elle comporte en outre un microscope optique.


La zone chimie est en libre service contrôlé : toute personne désirant y travailler doit être consciente des risques présentés par la manipulation de produits chimiques dangereux (acides minéraux concentrés, oxydants forts, solvants, produits toxiques) et des mesures à prendre pour éviter les contaminations des différentes technologies qui s'y croisent.

Tous les équipements de la zone Chimie sont en libre service.

Une formation pratique est obligatoire

Moyens de fabrication

Poste  RCA 4 pouces








Poste RCA  6 pouces






Deux sorbonnes (au fond)

Poste de délaquage de résine (centre)

Deux postes d'attaque (1er plan)







Equipement d’enduction de résines



Savoir Faire

  • Gravure humide avec masque de résine 
- Matériaux III V
- Métaux : Au, Al, Ti, Cr, Ni, Cu
- Oxyde : SiO2 avec HF dilué et BHF

  • Nettoyage
- RCA et H2SO4/H2O2
- Stripping de résine avec AZ100 Remover
- Solvant (Acetone, Ethanol, IPA, Trichloroethylene, NMP, DMSO, solvants fluorés)

  • Traitement de surface : OTS (n-octa decyl trichlorosilane)

  • Synthèse de matériaux par procédé sol-gel


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